[实用新型]抛光液循环过滤系统有效

专利信息
申请号: 201920907878.1 申请日: 2019-06-17
公开(公告)号: CN210699103U 公开(公告)日: 2020-06-09
发明(设计)人: 钟波;陈贤华;邓文辉;张清华;王健;郑楠 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: B01D35/143 分类号: B01D35/143;B01D35/12;B01D29/11
代理公司: 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 代理人: 曹鹏飞
地址: 621900*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 抛光 循环 过滤 系统
【说明书】:

实用新型涉及抛光液循环过滤系统,其搭载于抛光机床上,包括:储液装置,储液装置为倒置布置的锥形桶,锥形桶上部为出液侧,其下部为回液侧;第一供液装置和第二供液装置,第一供液装置和第二供液装置的进液端并列连接于储液装置出液侧;第一供液装置和第二供液装置的出液端连接至抛光机床;回液装置,回液装置回液进液端连接至抛光机床的储液槽,其回液出液端连通于储液装置的进液侧,回流的抛光液从锥形桶底部冲入锥形桶内,使锥形桶内的抛光液形成自扰动;控制终端,第一供液装置、第二供液装置和回液装置均与控制终端电性连接;控制终端按照预设程序控制第一供液装置和/或第二供液装置供液提高系统供液可靠性。

技术领域

本实用新型涉及光学元件制造技术领域,更具体的说是涉及抛光液循环过滤系统。

背景技术

在抛光加工工艺过程中抛光液是必不可少的加工辅料,工艺过程中需要持续有抛光液参与,抛光液一般由抛光粉和水按照一定比例混合而成的悬浊液,由于抛光粉颗粒团聚或者外部杂质导致抛光液中存在大量的粗大颗粒,因此在抛光液喷至加工区前需要进行精密过滤,但是由于这种颗粒物的存在容易造成过滤部件堵塞,导致抛光液无法充足供应,导致抛光工具烧蚀,同时光学元件表面面形也将遭到严重破坏。

因此,如何提供一种能够持续供液的装置是本领域技术人员亟需解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此,本实用新型提供了一种抛光液循环过滤系统,解决了现有技术抛光中由于管路堵塞无法保证抛光液持续供应的技术问题。

为了实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:

抛光液循环过滤系统,其搭载于抛光机床上,包括:

储液装置,储液装置为倒置布置的锥形桶,锥形桶上部为出液侧,其下部为回液侧;

第一供液装置和第二供液装置,第一供液装置和第二供液装置的进液端并列连接于储液装置出液侧;第一供液装置和第二供液装置的出液端连接至抛光机床;

回液装置,回液装置回液进液端连接至抛光机床的储液槽,其回液出液端连通于储液装置的进液侧,回流的抛光液从锥形桶底部冲入锥形桶内,使锥形桶内的抛光液形成自扰动;

控制终端,第一供液装置、第二供液装置和回液装置均与控制终端电性连接;控制终端按照预设程序控制第一供液装置和/或第二供液装置供液提高系统供液可靠性。

经由上述的技术方案可知,与现有技术相比,本实用新型公开提供了一种抛光液循环过滤系统,由于布置了两套供液装置,供液装置由控制终端控制,可实现任一供液装置或两个供液装置供液,保证当任一供液装置出现故障,另外一套能够启用,保证抛光液的持续供给,有效防止了由于缺少抛光液导致的抛光工具烧蚀,光学元件表面面形遭到严重破坏的问题;同时由于储液装置为倒置布置的锥形桶,回液装置回液进液端连接至抛光机床的储液槽,其回液出液端连通于储液装置的进液侧,回流的抛光液从锥形桶底部冲入锥形桶内,使锥形桶内的抛光液形成自扰动,防止储液装置内抛光粉沉淀。

优选地,第一供液装置和第二供液装置结构相同,均包括:供液泵、过滤器、压力传感器、流量计及供液管路;

供液泵与储液装置出液侧连通,用于将抛光液泵出;

过滤器通过供液管路连接于供液泵和抛光机床之间,用于过滤抛光液中的杂质;

压力传感器固定于过滤器顶部,用于检测过滤器的压力值;

流量计安装于供液泵和抛光机床之间,用于计量供至抛光机床的抛光液量;

其中供液泵、压力传感器和流量计均与控制终端电性连接;控制终端接收压力传感器检测的过滤器的压力信号,超过设置阈值报警提示;控制终端接收流量计的流量信息,并与加工程序预设的抛光液量比对,控制供液泵工作。

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