[实用新型]一种金属有机化合物化学气相沉积机台

摘要

本实用新型提供的一种金属有机化合物化学气相沉积机台，所述压环设置在所述底座的上表面，且位于所述基板的外侧，其中，所述压环具有冷却通道、冷却液入口和冷却液出口，所述冷却通道绕所述压环的轴线设置在所述压环内，所述冷却液入口和冷却液出口均与所述冷却通道连通，并匹配设置在所述卡孔中，本实用新型将压环设置为具有冷却通道的结构，使得其可以降低防尘环的温度，减少了TiN在防尘环上的沉积，还降低了边缘环的温度对基板边缘位置上TiN薄膜沉积的速率，从而提高了沉积在晶圆边缘位置上的TiN薄膜的均匀性，降低TiN沉积物剥离对产品良率的影响。