[实用新型]一种具有防溅伤环的晶体生长设备用波纹管组件

摘要

本实用新型涉及晶体生长设备上采用的波纹管组件，具体地说是一种具有防溅伤环的晶体生长设备用波纹管组件，包括上端法兰、下端法兰、波纹管及石墨拖杆，波纹管连接于所述上端法兰与下端法兰之间，上端法兰上开设有炉底板安装槽，石墨拖杆由下端法兰、波纹管及上端法兰上的炉底板安装槽穿过；上端法兰上安装有防止溅落出来的硅液接触到波纹管内壁的防溅伤环，防溅伤环的上端安装于上端法兰上开设的炉底板安装槽内，下端由炉底板安装槽内穿出，位于波纹管内部与石墨拖杆之间。本实用新型确保高温硅液溅落出来不会直接碰到波纹管的内壁，而是顺着防溅伤环的导流口，顺着耐高温的石墨拖杆流到波纹管的底部，进而保护波纹管不会烫伤泄露。