[实用新型]一种具有防溅伤环的晶体生长设备用波纹管组件

权利要求书

1.一种具有防溅伤环的晶体生长设备用波纹管组件，包括上端法兰、下端法兰、波纹管及石墨拖杆，其中波纹管连接于所述上端法兰与下端法兰之间，所述上端法兰上开设有炉底板安装槽，所述石墨拖杆由下端法兰、波纹管及上端法兰上的炉底板安装槽穿过；其特征在于：所述上端法兰(2)上安装有防止溅落出来的硅液接触到波纹管(5)内壁的防溅伤环(6)，该防溅伤环(6)的上端安装于上端法兰(2)上开设的炉底板安装槽(4)内，下端由所述炉底板安装槽(4)内穿出，位于所述波纹管(5)内部与石墨拖杆(1)之间。

2.根据权利要求1所述具有防溅伤环的晶体生长设备用波纹管组件，其特征在于：所述防溅伤环(6)的上端为法兰(601)，下端为缩口(603)，该法兰(601)与缩口(603)之间为环体(602)；所述法兰(601)与上端法兰(2)上开设的炉底板安装槽(4)内部相连，所述缩口(603)位于上端法兰(2)的下方，处于所述波纹管(5)内部与石墨拖杆(1)之间，该缩口(603)的内径小于所述法兰(601)的内径。

3.根据权利要求2所述具有防溅伤环的晶体生长设备用波纹管组件，其特征在于：所述环体(602)的内壁由上至下向内弯曲。

4.根据权利要求2所述具有防溅伤环的晶体生长设备用波纹管组件，其特征在于：所述法兰(601)上沿周向开设有多个沉孔(604)。

5.根据权利要求1所述具有防溅伤环的晶体生长设备用波纹管组件，其特征在于：所述炉底板安装槽(4)为阶梯孔，内部形成止口，该止口的内表面制有便于固定所述防溅伤环(6)的螺纹。

6.根据权利要求1所述具有防溅伤环的晶体生长设备用波纹管组件，其特征在于：所述防溅伤环(6)分为形状、结构相同的两半。

7.根据权利要求1所述具有防溅伤环的晶体生长设备用波纹管组件，其特征在于：所述防溅伤环(6)内孔的直径大于石墨拖杆(1)的外径，该防溅伤环(6)的外径小于波纹管(5)的内径。

8.根据权利要求1所述具有防溅伤环的晶体生长设备用波纹管组件，其特征在于：所述防溅伤环(6)的轴向长度小于晶体生长结束后的所述波纹管(5)的最短长度。