[实用新型]一种硅片烘干装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片烘干装置，包括箱体，箱体底面四个拐角均固定连接有万向轮，箱体内部通过多孔隔板分为下方的储水室和上方的处理室，利用过滤网、干燥层和活性炭过滤层，通过三组过滤网可以对清洗后的清洗剂进行过滤回收，干燥层可以提高烘干效果，同时活性炭过滤层可以对烘干产生的气体进行吸附过滤，去除有害物质，保障操作人员身体健康；利用集水仓和水泵，可以通过PLC控制器打开水泵把储水室内的清洗剂通过输水管导入处理室，进行清洗；清洗结束后，可打开止回阀把清洗剂从排水管导入储水室进行回收，同时通过PLC控制器打开电加热管对硅片进行烘干处理，清洗与烘干一体化，效率大大提高。

主权项

1.一种硅片烘干装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)底面四个拐角均固定连接有万向轮(2)，所述箱体(1)内部通过多孔隔板(3)分为下方的储水室(4)和上方的处理室(5)，所述多孔隔板(3)底面密封连接有集水仓(6)，所述集水仓(6)底面中部设置有排水管(8)，且排水管(8)上安装有止回阀(9)，所述储水室(4)底面右侧安装有水泵(10)，所述水泵(10)上表面中部通过输水管(11)与处理室(5)连通，所述集水仓(6)底面安装有换能器(12)，所述多孔隔板(3)上表面中部可拆卸连接有数字液压缸(14)，所述数字液压缸(14)正面中部安装有步进电机驱动器(15)，所述数字液压缸(14)活塞顶端螺纹连接有放置结构(16)，所述处理室(5)左右两侧内壁均安装有电加热管(17)，所述箱体(1)顶端可拆卸连接有顶盖(18)，所述顶盖(18)左右两侧均转动连接有卡扣(19)，且箱体(1)左右两侧顶端均固定连接有与卡扣(19)相对应的卡块(20)，所述顶盖(18)上表面设置有通风孔(21)，所述箱体(1)正面中部上端安装有PLC控制器(25)，所述PLC控制器(25)下方安装有超声波发生器(13)，所述箱体(1)左侧底端设置有废水排放管(26)。/n