[实用新型]一种硅片烘干装置

权利要求书

1.一种硅片烘干装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)底面四个拐角均固定连接有万向轮(2)，所述箱体(1)内部通过多孔隔板(3)分为下方的储水室(4)和上方的处理室(5)，所述多孔隔板(3)底面密封连接有集水仓(6)，所述集水仓(6)底面中部设置有排水管(8)，且排水管(8)上安装有止回阀(9)，所述储水室(4)底面右侧安装有水泵(10)，所述水泵(10)上表面中部通过输水管(11)与处理室(5)连通，所述集水仓(6)底面安装有换能器(12)，所述多孔隔板(3)上表面中部可拆卸连接有数字液压缸(14)，所述数字液压缸(14)正面中部安装有步进电机驱动器(15)，所述数字液压缸(14)活塞顶端螺纹连接有放置结构(16)，所述处理室(5)左右两侧内壁均安装有电加热管(17)，所述箱体(1)顶端可拆卸连接有顶盖(18)，所述顶盖(18)左右两侧均转动连接有卡扣(19)，且箱体(1)左右两侧顶端均固定连接有与卡扣(19)相对应的卡块(20)，所述顶盖(18)上表面设置有通风孔(21)，所述箱体(1)正面中部上端安装有PLC控制器(25)，所述PLC控制器(25)下方安装有超声波发生器(13)，所述箱体(1)左侧底端设置有废水排放管(26)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片烘干装置，其特征在于：所述集水仓(6)内部为漏斗式空腔，所述集水仓(6)内壁镶嵌连接有三组过滤网(7)，且三组所述过滤网(7)孔径从上往下依次减小。

3.根据权利要求1所述的一种硅片烘干装置，其特征在于：所述换能器(12)安装有五组，且五组换能器(12)以圆周均匀分部在集水仓(6)底面。

4.根据权利要求1所述的一种硅片烘干装置，其特征在于：所述数字液压缸(14)活塞最大行程为50厘米，所述数字液压缸(14)为MSWAY型数字液压缸，且数字液压缸(14)通过导线与步进电机驱动器(15)电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片烘干装置，其特征在于：所述放置结构(16)还包括底板(161)、支撑柱(162)、中间支撑板(163)、上盖板(164)和放置槽(165)，所述底板(161)上表面中心处螺纹连接有支撑柱(162)，所述支撑柱(162)中部可拆卸连接有中间支撑板(163)，所述支撑柱(162)顶端螺纹连接有上盖板(164)，所述底板(161)上表面、中间支撑板(163)上下两面与上盖板(164)底面均设置有放置槽(165)。

6.根据权利要求5所述的一种硅片烘干装置，其特征在于：相邻所述放置槽(165)之间保留1厘米间隔，且放置槽(165)内壁均粘接有缓冲海绵(166)。

7.根据权利要求1所述的一种硅片烘干装置，其特征在于：所述顶盖(18)底面左右两侧固定连接有挡板(22)，所述挡板(22)内部镶嵌连接有干燥层(23)和活性炭过滤层(24)，所述活性炭过滤层(24)设置于干燥层(23)上方，所述干燥层(23)与活性炭过滤层(24)之间保留2厘米间隔，且干燥层(23)由氯化钙颗粒组成。