[实用新型]一种锗单晶位错检测装置有效
| 申请号： | 201920720297.7 | 申请日： | 2019-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN210803066U | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 王卿伟;陈仕天;郭友林;柯尊斌;陆海凤 | 申请（专利权）人： | 中锗科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32;G01N1/34;G01N21/95 |
| 代理公司： | 南京新慧恒诚知识产权代理有限公司 32424 | 代理人： | 李晓静 |
| 地址： | 211200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种锗单晶位错检测装置，包括工作台、活动夹具、反应箱、第一清洗箱、第二清洗箱和显微镜，所述工作台上设置有安装架，所述安装架的上端下表面设置有安装板，所述安装板的表面设置有横向的滑轨，所述活动夹具包括液压缸、安装座和收缩夹，所述液压缸安装于安装座上，所述安装座与安装板上的滑轨活动连接，所述收缩夹与液压缸的伸缩端出固定连接，所述反应箱安装于工作台的一端且位于安装架内部，所述反应箱的内部设置有检测液。本实用新型结构简单，使用方便，通过夹具对锗单晶进行协助腐蚀检测的工作，使得检测安全性较高，同时，可在检测前对锗单晶进行有效的清洗，从而提高了后续检测结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 锗单晶位错 检测 装置 | ||
【主权项】：
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