[实用新型]一种锗单晶位错检测装置

权利要求书

1.一种锗单晶位错检测装置，其特征在于：包括工作台（1）、活动夹具（2）、反应箱（3）、第一清洗箱（4）、第二清洗箱（5）和显微镜（6），所述工作台（1）上设置有安装架（7），所述安装架（7）的上端下表面设置有安装板（8），所述安装板（8）的表面设置有横向的滑轨，所述活动夹具（2）包括液压缸（9）、安装座（10）和收缩夹（11），所述液压缸（9）安装于安装座（10）上，所述安装座（10）与安装板（8）上的滑轨活动连接，所述收缩夹（11）与液压缸（9）的伸缩端出固定连接，所述反应箱（3）安装于工作台（1）的一端且位于安装架（7）内部，所述反应箱（3）的内部设置有检测液，所述第一清洗箱（4）安装于靠近反应箱（3）的一侧，所述第一清洗箱（4）的内部设置有无水乙醇，所述第二清洗箱（5）安装于靠近第一清洗箱（4）且远离反应箱（3）的一侧，所述第二清洗箱（5）的内部设置有清水，所述显微镜（6）安装于工作台（1）远离反应箱（3）的一端且位于安装架（7）外部。

2.根据权利要求1所述的一种锗单晶位错检测装置，其特征在于：所述安装座（10）上设置有纵向的滑轨，所述液压缸（9）与安装座（10）上的纵向滑轨活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种锗单晶位错检测装置，其特征在于：所述反应箱（3）的一侧设置有入料管道（12），且入料管道（12）与反应箱（3）之间设置有一定斜角，所述反应箱（3）内的检测液为铁氰化钾腐蚀液。

4.根据权利要求1所述的一种锗单晶位错检测装置，其特征在于：所述反应箱（3）内的检测液高度和入料管道（12）与反应箱（3）连接处的上口水平位置一致，且入料管道（12）的进口处下口水平位置高于检测液高度。

5.根据权利要求1所述的一种锗单晶位错检测装置，其特征在于：所述液压缸（9）的伸缩端和收缩夹（11）的表面均涂有防腐蚀涂层以及防锈涂层。

6.根据权利要求1所述的一种锗单晶位错检测装置，其特征在于：所述显微镜（6）为一种金相显微镜，且与电脑数据线连接。