[实用新型]碳化硅晶片贴蜡装置有效
| 申请号： | 201920718120.3 | 申请日： | 2019-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN210058835U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 郑东;王鑫 | 申请（专利权）人： | 青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10;B05C13/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 37212 青岛发思特专利商标代理有限公司 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266114 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体晶片贴蜡抛光技术领域，涉及碳化硅晶片贴蜡装置。该贴蜡装置包括机台上的控制箱以及与控制箱电连接的机械臂和气缸，气缸通过支撑柱安装在机台上方，气缸的活塞杆自由端固接冲压头，陶瓷盘对应设置在冲压头下方；机械臂通过伸缩气缸与吸附装置连接，吸附装置下表面设置有若干真空吸附垫，吸附装置上设置有与真空泵连接的真空吸附管路，真空泵与控制箱电连接；陶瓷盘摆放在放置槽内，放置槽底部安装有加热环，加热环上放置陶瓷盘；机台上还设置有晶片摆放台。该贴蜡装置采取整体贴片加热，变更传统的单片加热方式，这样可以大大的提高了加工效率，且贴片温度一致性更高，保证了碳化硅晶片的高质量加工。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附装置 控制箱 蜡装置 陶瓷盘 气缸 碳化硅晶片 冲压头 电连接 放置槽 机械臂 加热环 贴片 机台 半导体晶片 本实用新型 温度一致性 真空泵连接 真空吸附垫 加工效率 加热方式 伸缩气缸 真空吸附 摆放台 传统的 活塞杆 蜡抛光 下表面 真空泵 支撑柱 自由端 单片 固接 晶片 加热 变更 加工 保证 | ||
【主权项】：
1.一种碳化硅晶片贴蜡装置，包括安装在机台(11)上的控制箱以及与控制箱电连接的机械臂(10)和气缸(8)，气缸(8)通过支撑柱安装在机台(11)上方，气缸(8)的活塞杆自由端固接冲压头(7)，陶瓷盘(4)对应设置在冲压头(7)下方，其特征在于：/n所述机械臂(10)自由端通过伸缩气缸与吸附装置(1)连接，吸附装置(1)下表面设置有若干真空吸附垫(2)，真空吸附垫(2)沿吸附装置(1)外周均匀分布，吸附装置(1)上设置有与真空泵连接的真空吸附管路，真空泵与控制箱电连接；/n所述陶瓷盘(4)摆放在放置槽(3)内，放置槽(3)底部中心安装有加热环(5)，加热环(5)上放置陶瓷盘(4)；机台(11)上还设置有晶片摆放台(9)。/n
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