[实用新型]晶圆夹盘的清洗装置有效
| 申请号： | 201920706822.X | 申请日： | 2019-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN210010247U | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 刘璞方;高英哲;张文福;李丹 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B13/00;F26B21/14 |
| 代理公司： | 31295 上海思捷知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆夹盘的清洗装置，包括喷洗管道和喷嘴，所述喷洗管道外部设置有第一加热器，所述喷洗管道中通入含异丙醇的第一混合气体，所述第一混合气体经所述第一加热器加热后由所述喷嘴喷向晶圆夹盘。通过第一加热器加热含异丙醇的第一混合气体喷射晶圆夹盘，对晶圆夹盘进行干燥，缩短了晶圆夹盘的清洗时间，提升了晶圆夹盘表面的干燥效果，避免因干燥不完全在夹持过程中在晶圆上产生水痕缺陷，进而提升了晶圆产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆夹盘 第一加热器 混合气体 喷洗 异丙醇 加热 本实用新型 干燥效果 管道外部 晶圆产品 清洗装置 水痕缺陷 喷嘴 喷嘴喷 圆夹盘 夹持 晶圆 良率 种晶 喷射 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆夹盘的清洗装置，包括喷洗管道和喷嘴，其特征在于，所述喷洗管道外部设置有第一加热器，所述喷洗管道中通入含异丙醇的第一混合气体，所述第一混合气体经所述第一加热器加热后由所述喷嘴喷向晶圆夹盘。/n
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