[实用新型]晶圆夹盘的清洗装置

说明书

本实用新型提供了一种晶圆夹盘的清洗装置，包括喷洗管道和喷嘴，所述喷洗管道外部设置有第一加热器，所述喷洗管道中通入含异丙醇的第一混合气体，所述第一混合气体经所述第一加热器加热后由所述喷嘴喷向晶圆夹盘。通过第一加热器加热含异丙醇的第一混合气体喷射晶圆夹盘，对晶圆夹盘进行干燥，缩短了晶圆夹盘的清洗时间，提升了晶圆夹盘表面的干燥效果，避免因干燥不完全在夹持过程中在晶圆上产生水痕缺陷，进而提升了晶圆产品良率。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种晶圆夹盘的清洗装置。

背景技术

晶圆传输机器人(WTR)是晶圆传输系统的关键部件，负责在不同工位之间按工序快速、高效、平稳地搬运及传送晶圆。晶圆传输机器人的工作性能直接影响到晶圆的制造质量和生产效率。

晶圆传输机器人包括用于夹持晶圆的晶圆夹盘，晶圆传输机器人在用于槽式清洗机台中的各槽之间的晶圆传送时，晶圆夹盘在抓取干燥晶圆前和抓取清洗药液(chemical)槽工艺完成的晶圆后要立即进行清洗，避免交叉污染。当前的晶圆夹盘的清洗装置耗时比较久，影响机台的WPH(每小时处理的晶圆数量)，还存在由于晶圆夹盘未完全干燥而在夹持过程中在晶圆上产生水痕缺陷，进而影响晶圆产品良率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于缩短晶圆夹盘的清洗时间，提升晶圆夹盘表面的干燥效果。

本实用新型提供一种晶圆夹盘的清洗装置，包括喷洗管道和喷嘴，所述喷洗管道外部设置有第一加热器，所述喷洗管道中通入含异丙醇的第一混合气体，所述第一混合气体经所述第一加热器加热后由所述喷嘴喷向晶圆夹盘。

可选地，位于所述第一加热器一侧的喷洗管道包括第一喷洗管道支路和第二喷洗管道支路，所述第一喷洗管道支路连接氮气源，所述第二喷洗管道支路连接异丙醇槽，所述异丙醇槽中通入有异丙醇，所述异丙醇槽连接所述氮气源。

可选地，所述异丙醇槽的底部设置有第二加热器，所述第二加热器对所述异丙醇槽加热以形成异丙醇蒸汽。

可选地，还包括：第一阀门、第二阀门和第三阀门，所述氮气源经所述第一阀门向所述第一喷洗管道支路通入氮气，所述氮气源经所述第三阀门向所述异丙醇槽通入氮气，所述异丙醇槽中的氮气和所述异丙醇蒸汽混合构成第二混合气体，所述第二混合气体经所述第二阀门通入所述第二喷洗管道支路，所述第二混合气体和位于所述第一喷洗管道支路中的氮气混合后构成所述第一混合气体。

可选地，所述第二加热器对所述异丙醇槽加热的温度范围为50℃～70℃。

可选地，所述异丙醇槽的上部设置有冷凝管，用于将所述异丙醇蒸汽冷却成异丙醇液体，以对所述异丙醇循环利用。

可选地，所述第一加热器对所述第一混合气体的加热温度范围为110℃～130℃。

可选地，还包括清洗槽，所述清洗槽包括第一清洗槽和若干第二清洗槽，若干第二清洗槽均置于所述第一清洗槽中，待清洗的晶圆夹盘分别放置于所述第二清洗槽中。

可选地，每个所述第二清洗槽底部均经第四阀门连接去离子水，所述第一清洗槽底部连接排水通道，每个所述第二清洗槽均经第五阀门连接排水通道。

可选地，还包括提升机械装置，所述提升机械装置用于将所述晶圆夹盘提升以脱离所述清洗槽，所述圆夹盘提升的速度设置为0.5～2.5mm/s。

本实用新型提供了一种晶圆夹盘的清洗装置，包括喷洗管道和喷嘴，所述喷洗管道外部设置有第一加热器，所述喷洗管道中通入含异丙醇的第一混合气体，所述第一混合气体经所述第一加热器加热后由所述喷嘴喷向晶圆夹盘。通过第一加热器加热含异丙醇的第一混合气体喷射晶圆夹盘，对晶圆夹盘进行干燥，缩短了晶圆夹盘的清洗时间，提升了晶圆夹盘表面的干燥效果，避免因干燥不完全在夹持过程中在晶圆上产生水痕缺陷，进而提升了晶圆产品良率。

附图说明