[实用新型]带有FFU单元的匀胶机有效
| 申请号： | 201920694269.2 | 申请日： | 2019-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN209624977U | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 王云翔;冒薇;段仲伟;马冬月;许爱玲;李晓帅;祝翠梅;姚园 | 申请（专利权）人： | 苏州美图半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 南京思拓知识产权代理事务所(普通合伙) 32288 | 代理人： | 苗建 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种匀胶机，尤其是一种带有FFU单元的匀胶机，属于匀胶机的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述带有FFU单元的匀胶机，包括机架以及位于所述机架上的匀胶腔室；在所述匀胶腔室的顶部设置能提供洁净空气的FFU单元，在匀胶腔室的下部设置用于将气体排出的排风口；在匀胶腔室内设置有多孔工作面板以及设置于所述多孔工作面板上的载液池，在所述载液池内设置用于支撑匀胶衬底的匀胶载盘，在多孔工作面板上设置能封闭载液池的盖板；FFU单元产生的洁净空气进入匀胶腔室内，透过多孔工作面板后能经排风口排出。本实用新型结构紧凑，能提供匀胶工艺中所需的无尘环境，使用方便，安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 匀胶 匀胶机 工作面板 本实用新型 腔室 洁净空气 排风口 排出 载液 室内 单元产生 顶部设置 无尘环境 盖板 衬底 液池 载盘 封闭 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种带有FFU单元的匀胶机，包括机架（6）以及位于所述机架（6）上的匀胶腔室（2）；其特征是：在所述匀胶腔室（2）的顶部设置能提供洁净空气的FFU单元（1），在匀胶腔室（2）的下部设置用于将气体排出的排风口（17）；在匀胶腔室（2）内设置有多孔工作面板（15）以及设置于所述多孔工作面板（15）上的载液池（13），在所述载液池（13）内设置用于支撑匀胶衬底的匀胶载盘（12），在多孔工作面板（15）上设置能封闭载液池（13）的盖板（16）；FFU单元（1）产生的洁净空气进入匀胶腔室（2）内，透过多孔工作面板（15）后能经排风口（17）排出。
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