[实用新型]一种真空镀膜机测厚探头的恒温水循环系统有效
| 申请号： | 201920674417.4 | 申请日： | 2019-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN209859017U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 卢志坚 | 申请（专利权）人： | 中山晶通光学技术有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20;C23C14/54 |
| 代理公司： | 44346 广东高端专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 宁凯 |
| 地址： | 528400 广东省中山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空镀膜机测厚探头的恒温水循环系统，包括蓄水箱、接入所述蓄水箱的水热装置、水冷装置，还包括第一水泵、测厚探头水冷管，所述蓄水箱、第一水泵、测厚探头水冷管相互水路连接成循环回路，还包括与水热装置电性连接的恒温控制装置。由恒温控制装置控制测厚探头水冷循环回路的蓄水箱中水热装置，配合水冷装置，即时调节水温并维持在一个恒定的温度，保证测厚探头在镀膜真空室内的高温环境下能正常工作，同时提供给冷却回路的恒温冷却水不随环境温度变化而变化，减少测厚探头温差波动，测量数据更准确，提高镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 测厚探头 蓄水箱 恒温控制装置 水冷装置 水热装置 水冷管 水泵 恒温水循环系统 环境温度变化 水冷循环回路 本实用新型 恒温冷却水 真空镀膜机 测量数据 电性连接 镀膜真空 高温环境 冷却回路 水路连接 温差波动 循环回路 恒定的 热装置 镀膜 室内 配合 保证 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜机测厚探头的恒温水循环系统，其特征在于：包括蓄水箱、接入所述蓄水箱的水热装置、水冷装置，还包括第一水泵、测厚探头水冷管，所述蓄水箱、第一水泵、测厚探头水冷管相互水路连接成循环回路，还包括与水热装置电性连接的恒温控制装置。/n
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