[实用新型]一种真空镀膜机测厚探头的恒温水循环系统有效
| 申请号： | 201920674417.4 | 申请日： | 2019-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN209859017U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 卢志坚 | 申请（专利权）人： | 中山晶通光学技术有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20;C23C14/54 |
| 代理公司： | 44346 广东高端专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 宁凯 |
| 地址： | 528400 广东省中山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测厚探头 蓄水箱 恒温控制装置 水冷装置 水热装置 水冷管 水泵 恒温水循环系统 环境温度变化 水冷循环回路 本实用新型 恒温冷却水 真空镀膜机 测量数据 电性连接 镀膜真空 高温环境 冷却回路 水路连接 温差波动 循环回路 恒定的 热装置 镀膜 室内 配合 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜机测厚探头的恒温水循环系统，其特征在于：包括蓄水箱、接入所述蓄水箱的水热装置、水冷装置，还包括第一水泵、测厚探头水冷管，所述蓄水箱、第一水泵、测厚探头水冷管相互水路连接成循环回路，还包括与水热装置电性连接的恒温控制装置。
2.如权利要求1所述的一种真空镀膜机测厚探头的恒温水循环系统，其特征在于：所述恒温控制装置包括温度控制电箱、温度传感器，所述温度传感器接入蓄水箱，所述温度控制电箱分别与水热装置、温度传感器电性连接。
3.如权利要求1所述的一种真空镀膜机测厚探头的恒温水循环系统，其特征在于：所述水热装置为加热棒。
4.如权利要求1所述的一种真空镀膜机测厚探头的恒温水循环系统，其特征在于：所述水冷装置包括水路串接的冷水机、第二水泵和冷却铜管，所述冷却铜管放置于蓄水箱中。
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