[实用新型]一种去除光刻胶厚边装置有效
| 申请号： | 201920650997.3 | 申请日： | 2019-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN209606775U | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 金光国;于海超 | 申请（专利权）人： | 苏州麦田光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 215006 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型一种去除光刻胶厚边装置属于半导体生产设备领域；该装置包括放置在工作台上的去边系统和旋转系统；所述工作台上表面作为去边系统和旋转系统的定位基准面；所述去边系统包括去边刀具、横梁支臂、位移装置、夹片和负压除尘装置；所述旋转系统包括承片托盘、驱动电机和真空吸附系统；将旋涂并烘干后的光刻胶基片放置于旋转系统的承片托盘上，驱动电机驱动承片托盘旋转，进而带动承片托盘上的基片旋转；去边系统中的去边刀具在位移装置的控制下进行位置调整，使得去边刀具与光刻胶待刮擦区域进行机械刮擦接触，进而将光刻胶待刮擦区域进行定量去除。 | ||
| 搜索关键词： | 去边 托盘 旋转系统 光刻胶 承片 刮擦 去除 刀具 驱动电机 位移装置 厚边 半导体生产设备 负压除尘装置 工作台上表面 真空吸附系统 本实用新型 定位基准面 光刻胶基片 位置调整 横梁 烘干 夹片 旋涂 支臂 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种去除光刻胶厚边装置，其特征在于，包括放置在工作台(3)上的去边系统(1)和旋转系统(2)；所述工作台(3)上表面作为去边系统(1)和旋转系统(2)的定位基准面；所述去边系统(1)包括去边刀具(11)、横梁支臂(12)、位移装置(13)、夹片(14)和负压除尘装置(15)；所述去边刀具(11)采用夹片(14)固定于横梁支臂(12)上，所述横梁支臂(12)与位移装置(13)相连；所述去边刀具(11)位于旋转系统(2)上方，紧邻负压除尘装置(15)吸口位置；所述旋转系统(2)包括承片托盘(21)、驱动电机(22)和真空吸附系统(23)；所述承片托盘(21)位于旋转系统(2)的中间位置，承片托盘(21)与驱动电机(22)连接，驱动电机(22)驱动承片托盘(21)绕轴旋转，承片托盘(21)还与真空吸附系统(23)连接；所述去除光刻胶厚边装置的工作原理在于：将旋涂并烘干后的光刻胶基片放置于旋转系统(2)的承片托盘(21)上，驱动电机(22)驱动承片托盘(21)旋转，进而带动承片托盘(21)上的基片旋转；去边系统(1)中的去边刀具(11)在位移装置(13)的控制下进行位置调整，使得去边刀具(11)与光刻胶待刮擦区域进行机械刮擦接触，进而将光刻胶待刮擦区域进行定量去除。
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