[实用新型]用于单晶炉的快捷化料机构有效
| 申请号： | 201920627321.2 | 申请日： | 2019-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN210085626U | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 魏海宁;楼杭炯 | 申请（专利权）人： | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙) 32205 | 代理人： | 华德明 |
| 地址： | 221000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种用于单晶炉的快捷化料机构，包括柱形防护罩，所述柱形防护罩的内侧面底部设有坩埚，柱形防护罩的内侧面设有环形吸热管，柱形防护罩的外侧面上端设有定位板，定位板的上表面设有L形定位板，L形定位板的外侧面中部设有矩形油箱，矩形油箱的上表面设有回流泵，L形定位板的外侧面上端连接有环形预热罩，本用于单晶炉的快捷化料机构，结构紧凑，安装方便，使用时占用空间小，可以快速高效的对单晶硅生产原料进行预加热处理，环形预热罩的设置使得原料可以均匀受热，环形吸热管的设置方便了热量的回收，排料电机通过带动下料螺杆均匀旋转，可以实现物料的均匀下料。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 单晶炉 快捷 机构 | ||
【主权项】：
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