[实用新型]用于单晶炉的快捷化料机构有效

专利信息
申请号: 201920627321.2 申请日: 2019-05-05
公开(公告)号: CN210085626U 公开(公告)日: 2020-02-18
发明(设计)人: 魏海宁;楼杭炯 申请(专利权)人: 徐州晶睿半导体装备科技有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;C30B29/06
代理公司: 北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙) 32205 代理人: 华德明
地址: 221000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 用于 单晶炉 快捷 机构
【权利要求书】:

1.一种用于单晶炉的快捷化料机构,包括柱形防护罩(6),其特征在于,所述柱形防护罩(6)的内侧面底部设有坩埚(18),柱形防护罩(6)的内侧面设有环形吸热管(17),柱形防护罩(6)的外侧面上端设有定位板(5),定位板(5)的上表面设有L形定位板(4),L形定位板(4)的外侧面中部设有矩形油箱(2),矩形油箱(2)的上表面设有回流泵(1),L形定位板(4)的外侧面上端连接有环形预热罩(15),环形预热罩(15)的内侧面设有导流柱(16),导流柱(16)的上端面设有排料电机(13),排料电机(13)的输出轴连接有下料螺杆(14),下料螺杆(14)的外侧面上端与设置在导流柱(16)上端面的轴承转动连接,排料电机(13)的输入端通过外部开关与外部电源的输出端电连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的快捷化料机构,其特征在于,所述矩形油箱(2)的下表面设有托板(3),托板(3)的外侧面与L形定位板(4)的外侧面中部固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的快捷化料机构,其特征在于:所述环形预热罩(15)的外侧面对称设置有两个定位支架(7),定位支架(7)的外侧面与L形定位板(4)的外侧面上端相连。

4.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的快捷化料机构,其特征在于,所述回流泵(1)的进液口通过导管与矩形油箱(2)的外侧面下端相连,回流泵(1)的出液口通过导管与环形吸热管(17)的进气口相连,环形吸热管(17)的出液口通过导管与矩形油箱(2)的下端面相连。

5.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的快捷化料机构,其特征在于,所述环形预热罩(15)的内部设有柱形导流腔体。

6.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的快捷化料机构,其特征在于,所述导流柱(16)的下端面设有导流管(19),导流管(19)的下端面位于坩埚(18)的内部。

7.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的快捷化料机构,其特征在于,所述排料电机(13)的外侧面设有电机防护罩,电机防护罩位于环形预热罩(15)的上表面。

8.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的快捷化料机构,其特征在于,所述环形预热罩(15)的外侧面上端设有锥形料筒(9),锥形料筒(9)的内侧面底部通过导流腔体与设置在导流柱(16)外侧面上端的进料口相连。

9.根据权利要求8所述的一种用于单晶炉的快捷化料机构,其特征在于,所述锥形料筒(9)的外侧面下端设有第一定位法兰盘(8),环形预热罩(15)的外侧面上端设有第二定位法兰盘(21),第二定位法兰盘(21)通过定位螺栓与第一定位法兰盘(8)相连。

10.根据权利要求8所述的一种用于单晶炉的快捷化料机构,其特征在于,所述锥形料筒(9)的上端面设有上盖板(12),上盖板(12)的上表面中部设有进料管(10),进料管(10)的外侧面设有电动阀门(11),电动阀门(11)的输入端通过外部开关与外部电源的输出端电连接。

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