[实用新型]一种MOCVD腔体保养工具有效
| 申请号： | 201920599448.8 | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN209998052U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 钟祺;施文贞;王楠;刘逸欣 | 申请（专利权）人： | 福建中科光芯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/087 | 分类号： | B08B9/087;B08B9/08;B08B9/043 |
| 代理公司： | 35100 福州元创专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡学俊;薛金才 |
| 地址： | 362700 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种MOCVD腔体保养工具，包括能与MOCVD腔体内壁贴合的铲斗，在铲斗后端设置有与铲斗内连通的吸污管，在吸污管与铲斗之间设置有轴承。本实用新型结构简单，操作简便，能对MOCVD腔体进行清污保养。 | ||
| 搜索关键词： | 铲斗 本实用新型 吸污管 腔体 保养工具 腔体内壁 清污 贴合 连通 轴承 保养 | ||
【主权项】：
1.一种MOCVD腔体保养工具，其特征在于：包括能与MOCVD腔体内壁贴合的铲斗，在铲斗后端设置有与铲斗内连通的吸污管，在吸污管与铲斗之间设置有轴承。/n
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