[实用新型]一种MOCVD腔体保养工具

说明书

本实用新型涉及一种MOCVD腔体保养工具，包括能与MOCVD腔体内壁贴合的铲斗，在铲斗后端设置有与铲斗内连通的吸污管，在吸污管与铲斗之间设置有轴承。本实用新型结构简单，操作简便，能对MOCVD腔体进行清污保养。

技术领域

本实用新型涉及一种MOCVD腔体保养工具。

背景技术

MOCVD是在气相外延生长的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术，MOCVD将金属有机化合物与氢化物混合后通入反应腔，混合气体经过加热的衬底表面时，在衬底表面发生热分解反应，并外延生长成化合物单晶薄膜。

MOCVD在生长一定时间后，在腔体和后端管道管壁上会沉积黑色固体物质，如果不及时清洁，会影响气体的流动性，影响外延沉积质量，而在腔体excaust出口后端的管道由于弯折成120度角度，用普通的工具难以够到，形成沉积物死角。另外，MOCVD的腔体保养要隔着手套箱进行，进一步加大了保养的难度。现如今的保养中需要定期将管道拆下清洁，在操作中增加了保养的时间以及接触有毒物质的风险。因此，很有必要设计一套用于MOCVD腔体保养的工具。

发明内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供了一种MOCVD腔体保养工具，结构简单，操作简便，能对MOCVD腔体进行清污保养。

本实用新型的技术方案是：一种MOCVD腔体保养工具，包括能与MOCVD腔体内壁贴合的铲斗，在铲斗后端设置有与铲斗内连通的吸污管，在吸污管与铲斗之间设置有轴承。

进一步的，在吸污管端部设置有连接管，在连接管端部设置有把手。

进一步的，在把手端部设置有吸尘器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，操作简便，能对MOCVD腔体进行清污保养。

为使得本实用新型的上述目的、特征和优点能够更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细说明。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图1；

图2为本实用新型实施例的结构示意图2；

图中：10-铲斗；20-吸污管；30-轴承；40-把手；50-吸尘器；60-连接管。

具体实施方式

如图1~2所示，一种MOCVD腔体保养工具，包括能与MOCVD腔体内壁贴合的铲斗10，在铲斗10后端设置有与铲斗10内连通的吸污管20，在吸污管20与铲斗10之间设置有轴承30。

本实施例中，在吸污管20端部设置有连接管，在连接管端部设置有把手40。

本实施例中，在把手40端部设置有吸尘器50。

具体实施方式：在工作时，工作人员握住把手40，将铲斗10伸进MOCVD腔体内，并将铲斗10紧贴MOCVD腔体内壁，并控制铲斗10贴着内壁绕MOCVD腔体的中心轴线转动，对MOCVD腔体内壁的沉积物进行清除，沉积物从MOCVD腔体内壁产下后，落入铲斗10内，工作人员可以将铲斗10移出，将沉积物倒掉，也可以通过打开吸尘器50，将沉积物通过吸污管20、连接管从铲斗10内吸出。

上述操作流程及软硬件配置，仅作为本实用新型的较佳实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。