[实用新型]膜厚测量装置有效
| 申请号： | 201920571935.3 | 申请日： | 2019-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN209764048U | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 李青;李赫然;王忠华;曾俊维 | 申请（专利权）人： | 东旭科技集团有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 11283 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 肖冰滨;王晓晓 |
| 地址： | 100075 北京市丰台区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种膜厚测量装置，所述膜厚测量装置包括：探针组，包括第一伸缩探针和第二伸缩探针，所述第一伸缩探针接触薄膜上表面而产生基准压力，所述第二伸缩探针接触薄膜基板上镀有所述薄膜的一面而产生第一压力；检测单元，与所述第一伸缩探针和所述第二伸缩探针连接，用于获取所述基准压力和所述第一压力之间的第一压力差，并根据所述第一压力差计算所述薄膜的厚度，通过上述技术方案，利用两个伸缩探针和压力检测单元进行检测，将检测的压力差转换为高度差，得到薄膜厚度，避免了现有技术中的测量方法在检测过程中对薄膜造成的划伤，同时，测量不受光学折射率等参数的影响，测量结果精确度高。 | ||
| 搜索关键词： | 伸缩探针 薄膜 压力差 膜厚测量装置 检测 基准压力 测量 压力检测单元 本实用新型 光学折射率 薄膜基板 高度差 上表面 探针组 划伤 转换 | ||
【主权项】：
1.一种膜厚测量装置，其特征在于，所述膜厚测量装置包括：/n探针组，包括第一伸缩探针和第二伸缩探针，所述第一伸缩探针接触薄膜上表面而产生基准压力，所述第二伸缩探针接触薄膜基板上镀有所述薄膜的一面而产生第一压力；/n检测单元，与所述第一伸缩探针和所述第二伸缩探针连接，用于获取所述基准压力和所述第一压力之间的第一压力差，并根据所述第一压力差计算所述薄膜的厚度。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东旭科技集团有限公司，未经东旭科技集团有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920571935.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：金属板材在线测厚装置
- 下一篇：一种PCB板汇流条的检测装置
