[实用新型]一种蒸镀机构有效
| 申请号： | 201920536734.X | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN209957888U | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 35219 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 徐剑兵;林祥翔 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种蒸镀机构，包括磁板、固定支架、蒸镀坩埚单元、磁性薄膜和真空腔，磁板与竖直面设置有夹角，先在蒸镀的基板的背面上采用蒸镀的方式附上一层磁性薄膜，通过磁性薄膜可以与磁板通过磁吸的原理，将基板完全贴附与磁板上，避免基板发生弯曲的现象。而蒸镀坩埚单元则安装在固定支架上，因为固定支架与磁板相互平行，因此保证了磁板上的基板与固定支架之间的间距相同，进而通过蒸镀坩埚单元进行蒸镀时，可以提高基板蒸镀的质量，同时消除基板的弯曲的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 磁板 基板 固定支架 磁性薄膜 坩埚 本实用新型 基板蒸镀 竖直面 真空腔 磁吸 贴附 平行 背面 保证 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀机构，其特征在于：包括磁板、固定支架、蒸镀坩埚单元、磁性薄膜和真空腔；/n所述磁性薄膜用于设置在基板的背面上，所述磁板与竖直面设置有夹角，/n所述磁板的板面与固定支架相互平行设置在真空腔体内，所述蒸镀坩埚单元设置在固定支架上，所述蒸镀坩埚单元用于喷出蒸镀气体对基板镀膜。/n
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