[实用新型]一种蒸镀机构

说明书

本实用新型提供一种蒸镀机构，包括磁板、固定支架、蒸镀坩埚单元、磁性薄膜和真空腔，磁板与竖直面设置有夹角，先在蒸镀的基板的背面上采用蒸镀的方式附上一层磁性薄膜，通过磁性薄膜可以与磁板通过磁吸的原理，将基板完全贴附与磁板上，避免基板发生弯曲的现象。而蒸镀坩埚单元则安装在固定支架上，因为固定支架与磁板相互平行，因此保证了磁板上的基板与固定支架之间的间距相同，进而通过蒸镀坩埚单元进行蒸镀时，可以提高基板蒸镀的质量，同时消除基板的弯曲的问题。

技术领域

本实用新型涉及坩埚蒸镀领域，尤其涉及一种蒸镀机构。

背景技术

有机发光二极管(英文名为：Organic Light-Emitting Diode，缩写为：OLED)被发明以来，OLED在应用领域取得了长足的发展，目前已经广泛应用在手机、TV以及平板电脑中，成为最具发展前景的新一代显示技术。

有机发光材料是构成OLED发光器件的核心部分，现今主流的方法是通过物理气相沉积法制备OLED器件：即在真空腔中加热，使材料气化或者升华，沉积在温度比较低的基板上，多层膜的OLED器件结构。

具体的，将坩埚放置于真空腔的底部，而基板则位于真空腔的上部，并且将基板的镀膜面朝向坩埚的出料口，当有机材料在坩埚内部加热气化后，会在真空腔的基板上进行沉积，实现镀膜。但是基板的厚度一般在1mm以内，因此位于腔体上部的基板由于中间没有支撑，容易产生bending(弯曲)，使得基板为一个弧面。而该弧面的存在，对蒸镀造成一下几点的不良影响：(1)影响蒸镀设备对位精度；(2)基板的薄厚直接影响其弯曲量，因此对于基板厚度具有严格要求；(3)弯曲的基板也会对基板的传送造成一定影响。

实用新型内容

为此，需要提供一种蒸镀机构，解决现有蒸镀设备中基板存在弯曲量，且影响基板蒸镀的质量的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种蒸镀机构，包括磁板、固定支架、蒸镀坩埚单元、磁性薄膜和真空腔；所述磁性薄膜用于设置在基板的背面上，所述磁板与竖直面设置有夹角，所述磁板的板面与固定支架相互平行设置在真空腔体内，所述蒸镀坩埚单元设置在固定支架上，所述蒸镀坩埚单元用于喷出蒸镀气体对基板镀膜。

进一步地，还包括固定面板，所述固定面板的一板面设置有放置槽，所述固定面板的另一板面设置在磁板上。

进一步地，设所述夹角为a，且所述夹角的角度值为0°≤a≤15°。

进一步地，所述固定支架上设置有滑轨，所述滑轨与磁板相互平行设置。

进一步地，所述蒸镀坩埚单元包括坩埚和滑块，所述滑块设置在坩埚的底面架体上，所述滑轨设置在滑轨上。

进一步地，所述蒸镀坩埚单元设置有平面坩埚，所述平面坩埚设置有多个出料，所述出料口矩形阵列设置在平面坩埚的顶面上。

区别于现有技术，上述技术方案需要蒸镀的基板的背面上采用蒸镀的方式附上一层磁性薄膜，通过磁性薄膜可以与磁板通过磁吸的原理，将基板完全贴附与磁板上，避免基板发生弯曲的现象。而蒸镀坩埚单元则安装在固定支架上，因为固定支架与磁板相互平行，因此保证了磁板上的基板与固定支架之间的间距相同，进而通过蒸镀坩埚单元进行蒸镀时，可以提高基板蒸镀的质量，同时消除基板的弯曲的问题。

附图说明

图1为具体实施方式所述的蒸镀机构的为平面坩埚时的示意图；

图2为具体实施方式所述的蒸镀机构的为坩埚时的示意图；

图3为具体实施方式所述的蒸镀机构的为基板的示意图。

附图标记说明：

1、基板；

10、磁板；11、夹角；12、固定面板；121放置槽；