[实用新型]供液系统有效
| 申请号： | 201920482664.4 | 申请日： | 2019-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN209486466U | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 刘庆超;徐丽芝;颜廷彪;黄志凯;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种供液系统，供液系统包括储液装置及液体处理装置，其中，液体处理装置包括：伸缩部件及驱动部件；伸缩部件与储液装置相连通，驱动部件与伸缩部件相连接，通过驱动部件驱动伸缩部件运行。本实用新型的供液系统，通过包括伸缩部件及驱动部件的液体处理装置，采用负压真空吸取方式，可降低伸缩部件中液体的气体溶解率，减少气泡的生成，且可实现自动补液功能；从而有效提高制程稳定性，提高产品质量，减少液体消耗量，降低维护成本，提高设备利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 伸缩部件 供液系统 驱动部件 液体处理装置 本实用新型 储液装置 设备利用率 液体消耗量 气体溶解 真空吸取 自动补液 负压 制程 驱动 维护 | ||
【主权项】：
1.一种供液系统，其特征在于，所述供液系统包括储液装置及液体处理装置，其中，所述液体处理装置包括：伸缩部件，所述伸缩部件与所述储液装置相连通；驱动部件，所述驱动部件与所述伸缩部件相连接，通过所述驱动部件驱动所述伸缩部件运行。
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