[实用新型]一种新型半导体薄层样品特性测试仪

摘要

本实用新型公开了一种新型半导体薄层样品特性测试仪，四个探针呈直线设置在待测半导体薄层样品上，四个探针分别四个接线端子连接。定标电压表与微伏表并联后与其中两个接线端子连接，定标电流表、微安表、恒流源电路串联后分别与另外两个接线端子连接。第一反射镜设置在微安表的表头，第二反射镜设置在微伏表的表头，还包括第一半导体激光器、第二半导体激光器、第一光斑一维位置测量电路和第二光斑一维位置测量电路，本实用新型采用光学放大的方式，在进行半导体薄层电阻的特性测量时，间接得到微小电流和电压的大小，且测量简单方便，不需额外配备高精度的数显微伏表和数显微安表。

主权项

1.一种新型半导体薄层样品特性测试仪，包括铝板（3），其特征在于，/n铝板（3）通过塑料垫脚支撑在平台上，亚克力玻璃板样品台（1）设置在铝板（3）上，待测半导体薄层样品（2）设置在亚克力玻璃板样品台（1）上，/n探针a、探针b、探针c、探针d呈直线设置在待测半导体薄层样品（2）上，探针a与接线端子A通过导线连接，探针b与接线端子B通过导线连接，探针c与接线端子C通过导线连接，探针d与接线端子D通过导线连接，/n定标电压表（23）与微伏表（7）均分别与接线端子C和接线端子D连接，接线端子A与恒流源电路（6）一端连接，恒流源电路（6）另一端与定标电流表（24）一端连接，定标电流表（24）另一端与微安表（12）一端连接，微安表（12）另一端与接线端子B连接，/n微伏表（7）和微安表（12）均设置在铝板（3）上，第一反射镜（8）和第二反射镜（13）分别粘在微伏表（7）和微安表（12）的指针上，/n第一半导体激光器（10）和第二半导体激光器（16）分别通过对应的高低调节支架设置在铝板（3）上，第一光斑一维位置测量电路（9）和第二光斑一维位置测量电路（14）分别通过对应的高低调节支架设置在铝板（3）上，/n第一半导体激光器（10）的出射激光经第一反射镜（8）反射至第一调节反射镜（11），再由第一调节反射镜（11）反射至第一光斑一维位置测量电路（9）的感光面；第二半导体激光器（16）的出射激光经第二反射镜（13）反射至第二调节反射镜（17），再由第二调节反射镜（17）反射至第二光斑一维位置测量电路（14）的感光面。/n