[实用新型]一种新型半导体薄层样品特性测试仪

说明书

本实用新型公开了一种新型半导体薄层样品特性测试仪，四个探针呈直线设置在待测半导体薄层样品上，四个探针分别四个接线端子连接。定标电压表与微伏表并联后与其中两个接线端子连接，定标电流表、微安表、恒流源电路串联后分别与另外两个接线端子连接。第一反射镜设置在微安表的表头，第二反射镜设置在微伏表的表头，还包括第一半导体激光器、第二半导体激光器、第一光斑一维位置测量电路和第二光斑一维位置测量电路，本实用新型采用光学放大的方式，在进行半导体薄层电阻的特性测量时，间接得到微小电流和电压的大小，且测量简单方便，不需额外配备高精度的数显微伏表和数显微安表。

技术领域

本实用新型属于测量技术领域，具体涉及一种新型半导体薄层样品特性测试仪，适用于半导体薄层样品的的特性测试，以及微小电流电压的测量。

背景技术

目前“半导体薄层样品特性测试仪”，一般采用“四探针”法进行，同时为了避免非平衡载流子的注入造成“测量误差”，在测量时，应当对待测“半导体薄层样品”通入一微小测试电流，但微小的“测试电流”可能造成“探针电压”的测量困难。针对这种情况，目前的“半导体薄层样品特性测试仪”有两种处理方式，一种是采用高精度运放芯片和AD芯片，对微小的“测试电流”和“探针电压”进行直接测量。另一种是为了避免对微小“测试电流”和“探针电压”进行测量，仪器在二者之间进行所谓的“折中处理”，即适当提高“测试电流”的大小，使“探针电压”也随之抬高，从而降低“探针电压”测量的难度，但这种处理方式，会在一定程度上影响到待测“半导体薄层样品”的测量精度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术存在的上述问题，提供一种新型半导体薄层样品特性测试仪。

本实用新型的上述目的通过以下技术方案实现：

一种新型半导体薄层样品特性测试仪，包括铝板，铝板通过塑料垫脚支撑在平台上，亚克力玻璃板样品台设置在铝板上，待测半导体薄层样品设置在亚克力玻璃板样品台上。

探针a、探针b、探针c、探针d呈直线设置在待测半导体薄层样品上，探针a与接线端子A通过导线连接，探针b与接线端子B通过导线连接，探针c与接线端子C通过导线连接，探针d与接线端子D通过导线连接。

定标电压表与微伏表均分别与接线端子C和接线端子D连接，接线端子A与恒流源电路一端连接，恒流源电路另一端与定标电流表一端连接，定标电流表另一端与微安表一端连接，微安表另一端与接线端子B连接，

微伏表和微安表均设置在铝板上，第一反射镜和第二反射镜分别粘在微伏表和微安表的指针上，

第一半导体激光器和第二半导体激光器分别通过对应的高低调节支架设置在铝板上，第一光斑一维位置测量电路和第二光斑一维位置测量电路分别通过对应的高低调节支架设置在铝板上，

第一半导体激光器的出射激光经第一反射镜反射至第一调节反射镜，再由第一调节反射镜反射至第一光斑一维位置测量电路的感光面；第二半导体激光器的出射激光经第二反射镜反射至第二调节反射镜，再由第二调节反射镜反射至第二光斑一维位置测量电路的感光面。

如上所述的第一光斑一维位置测量电路和第二光斑一维位置测量电路均包括一维光点位置传感器，一维光点位置传感器的其中一个输出端与第一路电流转电压模块的输入端连接，一维光点位置传感器的另一个输出端与第二路电流转电压模块的输入端连接，第一路电流转电压模块的输出端与第一路电压跟随器的输入端连接；第二路电流转电压模块的输出端与第二路电压跟随器的输入端连接，第一路电压跟随器的输出端和第二路电压跟随器的输出端分别与减法器的输入端连接，第一路电压跟随器的输出端和第二路电压跟随器的输出端还分别与加法器的输入端连接，减法器的输出端和加法器的输出端分别与除法器的输入端连接。

本实用新型相对于现有技术具有以下有益效果：