[实用新型]一种半导体制冷片靶材冷却装置有效
| 申请号： | 201920454413.5 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN209722290U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 马毅;黄先伟;宋宇轩;俞越翎;张泰华 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 33213 杭州浙科专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 吴秉中<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 310014 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于，包括金属固定台，所述金属固定台中心设有安装空间，所述安装空间内设有水冷铜板、半导体制冷片及靶材，所述水冷铜板、半导体制冷片及靶材依次叠加设置在安装空间内，所述半导体制冷片包括制冷面及放热面，所述半导体制冷片的制冷面与靶材贴合设置，所述半导体制冷片放热面与水冷铜板贴合设置；本实用新型的有益效果：设计巧妙，结构合理，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体制冷片 安装空间 铜板 靶材 水冷 本实用新型 贴合设置 放热面 固定台 制冷面 金属 靶材冷却 依次叠加 | ||
【主权项】：
1.一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于，包括金属固定台（6），所述金属固定台（6）中心设有安装空间，所述安装空间内设有水冷铜板（5）、半导体制冷片（4）及靶材（3），所述水冷铜板（5）、半导体制冷片（4）及靶材（3）依次叠加设置在安装空间内，所述半导体制冷片（4）包括制冷面及放热面，所述半导体制冷片（4）的制冷面与靶材（3）贴合设置，所述半导体制冷片（4）放热面与水冷铜板（5）贴合设置。/n
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