[实用新型]一种半导体制冷片靶材冷却装置有效
| 申请号： | 201920454413.5 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN209722290U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 马毅;黄先伟;宋宇轩;俞越翎;张泰华 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 33213 杭州浙科专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 吴秉中<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 310014 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体制冷片 安装空间 铜板 靶材 水冷 本实用新型 贴合设置 放热面 固定台 制冷面 金属 靶材冷却 依次叠加 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于，包括金属固定台（6），所述金属固定台（6）中心设有安装空间，所述安装空间内设有水冷铜板（5）、半导体制冷片（4）及靶材（3），所述水冷铜板（5）、半导体制冷片（4）及靶材（3）依次叠加设置在安装空间内，所述半导体制冷片（4）包括制冷面及放热面，所述半导体制冷片（4）的制冷面与靶材（3）贴合设置，所述半导体制冷片（4）放热面与水冷铜板（5）贴合设置。
2.根据权利要求1所述的一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于，所述水冷铜板（5）内部设有中空腔体（501），所述水冷铜板（5）底部设有分别与中空腔体相连通的进水口（502）、出水口（503）。
3.根据权利要求1所述的一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于，所述金属固定台（6）采用圆柱体结构，所述安装空间为环形凹槽，所述水冷铜板（5）、半导体制冷片（4）及靶材（3）均为圆形结构，所述水冷铜板（5）、半导体制冷片（4）及靶材（3）均配合设置在环形凹槽内。
4.根据权利要求1所述的一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于，所述金属固定台（6）顶部边缘位置设有三个呈120°分布的夹紧片（2），并通过夹紧片（2）将靶材（3）顶部压紧固定在金属固定台（6）上。
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