[实用新型]基于Fick扩散定律的微型氯离子传感器

摘要

本实用新型公开了一种基于Fick扩散定律的微型氯离子传感器，包含聚酰亚胺薄片基板、辅助电极、感受电极、参比电极和对电极，相互不接触；辅助电极、感受电极、参比电极、对电极均包含敏感元、导线、以及通过导线和敏感元相连的焊点；感受电极的敏感元放置在辅助电极敏感元的凹槽内；辅助电极、感受电极、参比电极的敏感元从下至上均包含Ti粘附层、Pt电极层和Au薄膜层；对电极的敏感元从下至上包含Ti粘附层和Pt电极层；辅助电极、感受电极、参比电极的敏感元上镀有Ag薄膜层，且Ag薄膜层上镀有AgCl薄膜层。本实用新型体积小、结构稳定性好、可靠性高、密封性好，能够应用于飞行器盐雾腐蚀与防护，提高飞行器使用寿命。