[实用新型]基于Fick扩散定律的微型氯离子传感器

权利要求书

1.基于Fick扩散定律的微型氯离子传感器，其特征在于，包含聚酰亚胺薄片基板、辅助电极、感受电极、参比电极和对电极；

所述辅助电极、感受电极、参比电极、对电极均设置在所述聚酰亚胺薄片基板上，均包含敏感元、导线、以及通过导线和敏感元相连的焊点；

所述感受电极的敏感元呈叉指状；所述辅助电极的敏感元呈矩形，其上设有用于放置感受电极敏感元的凹槽；所述感受电极的敏感元放置在辅助电极敏感元的凹槽内；

所述参比电极、对电极的敏感元均呈长条状，分别设置在所述辅助电极敏感元两侧、和辅助电极敏感元两侧的边平行，且和感受单机敏感元的叉指长度方向垂直；

所述辅助电极的敏感元、感受电极的敏感元、参比电极的敏感元从下至上均包含Ti粘附层、Pt电极层和Au薄膜层；所述对电极的敏感元从下至上包含Ti粘附层和Pt电极层；

所述辅助电极的敏感元、感受电极的敏感元、参比电极的敏感元上镀有Ag薄膜层，且Ag薄膜层上镀有AgCl薄膜层；

所述辅助电极、感受电极、参比电极、对电极之间均不接触。

2.根据权利要求1所述的基于Fick扩散定律的微型氯离子传感器，其特征在于，所述感受电极的敏感元的叉指数为3，叉指宽度为5μm，叉指间距为1mm，叉指长度为3mm；所述感受电极的导线线宽为70μm，所述感受电极的焊点为1*1.5mm的长方形；

所述辅助电极的敏感元为8*4mm的长方形；辅助电极敏感元和感受电极敏感元的距离为5μm；所述辅助电极的导线线宽为70μm，所述辅助电极焊点为1*1.5mm的长方形；

所述参比电极的敏感元为70*3000μm的长方形；参比电极敏感元和辅助电极敏感元之间的距离为70μm；所述参比电极导线线宽为70μm，所述参比电极焊点为1*1.5mm的长方形；

所述对电极的敏感元为70*3000μm的长方形；所述对电极敏感元和辅助电极敏感元之间的距离为70μm；所述对电极导线线宽为70μm，所述对电极焊点为1*1.5mm的长方形。

3.根据权利要求1所述的基于Fick扩散定律的微型氯离子传感器，其特征在于，还包含第一至第四连接头；

所述第一至第四连接头的一端分别和辅助电极、感受电极、参比电极、Pt对电极的焊点相连，另一端均用于和外界相连；

所述辅助电极、感受电极、参比电极、Pt对电极的导线和焊点上均设有绝缘层。