[实用新型]化学品槽和晶圆处理设备

摘要

该实用新型涉及一种化学品槽和晶圆处理设备，其中化学品槽包括：槽体，用于盛放化学品；补水管路，连通至槽体，用于向槽体内通入水；排酸管路，连通至槽体，用于排出槽体内的化学品；第一磁性堵头，设置到补水管路的入口，用于在磁力的作用下堵住补水管路的入口，防止水经由补水管路进入槽体；第二磁性堵头，设置到排酸管路的出口，用于在磁力的作用下堵住排酸管路的出口，防止化学品经由排酸管路从槽体内排出；电磁装置，设置于两磁性堵头之间，用于在通电时给两磁性堵头提供磁力。上述化学品槽和晶圆处理设备在电磁装置掉电时即刻向槽体内通入水以及将槽体内的化学品排出，防止槽体内的化学品滞留。

主权项

1.一种化学品槽，其特征在于，包括：槽体，用于盛放化学品；补水管路，连通至所述槽体，用于向所述槽体内通入水；排酸管路，连通至所述槽体，用于排出所述槽体内的化学品；第一磁性堵头，设置到所述补水管路的入口，用于在磁力的作用下堵住所述补水管路的入口，防止水经由所述补水管路进入所述槽体；第二磁性堵头，设置到所述排酸管路的出口，用于在磁力的作用下堵住所述排酸管路的出口，防止化学品经由所述排酸管路从所述槽体内排出；电磁装置，设置于所述第一磁性堵头和第二磁性堵头之间，用于在通电时给所述第一磁性堵头和第二磁性堵头提供磁力，使所述第一磁性堵头堵住所述补水管路的入口，第二磁性堵头堵住所述排酸管路的出口。