[实用新型]化学品槽和晶圆处理设备

权利要求书

1.一种化学品槽，其特征在于，包括：

槽体，用于盛放化学品；

补水管路，连通至所述槽体，用于向所述槽体内通入水；

排酸管路，连通至所述槽体，用于排出所述槽体内的化学品；

第一磁性堵头，设置到所述补水管路的入口，用于在磁力的作用下堵住所述补水管路的入口，防止水经由所述补水管路进入所述槽体；

第二磁性堵头，设置到所述排酸管路的出口，用于在磁力的作用下堵住所述排酸管路的出口，防止化学品经由所述排酸管路从所述槽体内排出；

电磁装置，设置于所述第一磁性堵头和第二磁性堵头之间，用于在通电时给所述第一磁性堵头和第二磁性堵头提供磁力，使所述第一磁性堵头堵住所述补水管路的入口，第二磁性堵头堵住所述排酸管路的出口。

2.根据权利要求1所述的化学品槽，其特征在于，所述第一磁性堵头包括：

第一磁铁，设置于所述补水管路的入口，用于在磁力的作用下堵住所述补水管路的入口；

第一弹簧，连接至所述第一磁铁，用于给所述第一磁铁施加将所述第一磁铁拉离所述补水管路的入口的力；

所述第二磁性堵头包括：

第二磁铁，设置于所述排酸管路的出口，用于在磁力的作用下堵住所述排酸管路的出口；

第二弹簧，连接至所述第二磁铁，用于给所述第二磁铁施加将所述第二磁铁拉离所述排酸管路的出口的力。

3.根据权利要求2所述的化学品槽，其特征在于，所述电磁装置包括：

线圈，连接至一外接电源，设置在所述第一磁铁和第二磁铁之间，用于在所述外接电源供电时产生电磁场，给所述第一磁铁和第二磁铁提供磁力。

4.根据权利要求3所述的化学品槽，其特征在于，所述第一磁铁和第二磁铁的磁极设置在同一直线上，且所述第一磁铁和第二磁铁的相同磁极相对设置。

5.根据权利要求4所述的化学品槽，其特征在于，所述线圈通电时所形成的电磁铁的磁极也在所述第一磁铁和第二磁铁的磁极所在的直线上。

6.根据权利要求2所述的化学品槽，其特征在于，所述补水管路设置在所述槽体的上方，所述排酸管路设置在所述槽体的下方。

7.根据权利要求6所述的化学品槽，其特征在于，所述电磁装置给所述第一磁铁以向下的吸引力，给所述第二磁铁以向下的排斥力；所述第一弹簧设置在所述补水管路入口的上方，用于给第一磁铁以向上的拉力，所述第二弹簧设置在所述排酸管路出口的上方，用于给第二磁铁以向上的拉力。

8.根据权利要求1所述的化学品槽，其特征在于，还包括：

循环水箱，连通至所述排酸管路，用于放置自所述槽体内排出的化学品。

9.根据权利要求1所述的化学品槽，其特征在于，还包括：

水源，连通至所述补水管路，用于提供要通入所述槽体内的水。

10.一种晶圆处理设备，其特征在于，包括：

电源，用于给所述晶圆处理设备供电；

化学品槽，包括：

槽体，用于盛放化学品；

补水管路，连通至所述槽体，用于向所述槽体内通入水；

排酸管路，连通至所述槽体，用于排出所述槽体内的化学品；

第一磁性堵头，设置到所述补水管路的入口，用于在磁力的作用下堵住所述补水管路的入口，防止水经由所述补水管路进入所述槽体；

第二磁性堵头，设置到所述排酸管路的出口，用于在磁力的作用下堵住所述排酸管路的出口，防止化学品经由所述排酸管路从所述槽体内排出；

电磁装置，设置于所述第一磁性堵头和第二磁性堵头之间，连接至所述电源，用于在通电时给所述第一磁性堵头和第二磁性堵头提供磁力，使所述第一磁性堵头堵住所述补水管路的入口，第二磁性堵头堵住所述排酸管路的出口。