[实用新型]一种可移动调节的晶体测距检验装置有效
申请号: | 201920365505.6 | 申请日: | 2019-03-21 |
公开(公告)号: | CN209570109U | 公开(公告)日: | 2019-11-01 |
发明(设计)人: | 靳霄曦;徐伟;魏汝省;张继光;李斌;王英民;侯晓蕊;周立平;张峰;弓吉祥 | 申请(专利权)人: | 山西烁科晶体有限公司 |
主分类号: | G01B5/02 | 分类号: | G01B5/02 |
代理公司: | 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109 | 代理人: | 冷锦超;吴立 |
地址: | 030006 山西省太*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种可移动调节的晶体测距检验装置,属于半导体加工领域;所要解决的技术问题是提供了一种结构简单,操作方便,测量准确,精度可靠,满足后续需求的可移动调节的晶体测距检验装置;解决该技术问题采用的技术方案为:一种可移动调节的晶体测距检验装置,包括底座,底座上设置有切割板,切割板上设置有可滑动的U型座,U型座上方设置有支撑板,支撑板与U型座相互垂直,支撑板上设置有旋转杆,旋转杆与底座相互平行,旋转杆一端与支撑板相连,另一端设置有测距控制杆,测距控制杆与旋转杆相互垂直,测距控制杆一端与旋转杆相连,另一端设置有测距表;本实用新型可广泛应用于半导体加工领域。 | ||
搜索关键词: | 测距 旋转杆 可移动调节 检验装置 支撑板 控制杆 底座 半导体加工领域 本实用新型 一端设置 切割板 垂直 可滑动 平行 测量 应用 | ||
【主权项】:
1.一种可移动调节的晶体测距检验装置,其特征在于:包括底座(1),底座(1)上设置有切割板(2),切割板(2)上设置有可滑动的U型座(3),U型座(3)上方设置有支撑板(4),支撑板(4)与U型座(3)相互垂直,支撑板(4)上设置有旋转杆(5),旋转杆(5)与底座(1)相互平行,旋转杆(5)一端与支撑板(4)相连,另一端设置有测距控制杆(6),测距控制杆(6)与旋转杆(5)相互垂直,测距控制杆(6)一端与旋转杆(5)相连,另一端设置有测距表(7)。
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