[实用新型]一种可移动调节的晶体测距检验装置有效

专利信息
申请号: 201920365505.6 申请日: 2019-03-21
公开(公告)号: CN209570109U 公开(公告)日: 2019-11-01
发明(设计)人: 靳霄曦;徐伟;魏汝省;张继光;李斌;王英民;侯晓蕊;周立平;张峰;弓吉祥 申请(专利权)人: 山西烁科晶体有限公司
主分类号: G01B5/02 分类号: G01B5/02
代理公司: 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109 代理人: 冷锦超;吴立
地址: 030006 山西省太*** 国省代码: 山西;14
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摘要:
搜索关键词: 测距 旋转杆 可移动调节 检验装置 支撑板 控制杆 底座 半导体加工领域 本实用新型 一端设置 切割板 垂直 可滑动 平行 测量 应用
【说明书】:

实用新型公开了一种可移动调节的晶体测距检验装置,属于半导体加工领域;所要解决的技术问题是提供了一种结构简单,操作方便,测量准确,精度可靠,满足后续需求的可移动调节的晶体测距检验装置;解决该技术问题采用的技术方案为:一种可移动调节的晶体测距检验装置,包括底座,底座上设置有切割板,切割板上设置有可滑动的U型座,U型座上方设置有支撑板,支撑板与U型座相互垂直,支撑板上设置有旋转杆,旋转杆与底座相互平行,旋转杆一端与支撑板相连,另一端设置有测距控制杆,测距控制杆与旋转杆相互垂直,测距控制杆一端与旋转杆相连,另一端设置有测距表;本实用新型可广泛应用于半导体加工领域。

技术领域

本实用新型一种可移动调节的晶体测距检验装置,属于半导体加工技术领域。

背景技术

目前半导体及泛半导体材料被广泛的应用在工业、国防、科研、民用等领域,越来越多的被用在固体激光、红外窗口、半导体衬底片、发光二极管衬底片、精密耐磨轴承、3G手机面板、高档手表表面等诸多产品中,半导体由晶锭加工为衬底必须经过切割工作,目前,在切割中最多使用的是线切割,在进行线切割前必须将晶体粘接在切割底板上,衬底的偏向角度就决定了后续的切割偏差,这一步工序非常的关键,目前,主要的粘结后检测方法有角尺测量、上机后打表、定向仪检测等方法,这些方法有的不准确,这种操作繁琐影响生产效率,有的不利于后续的调整。

实用新型内容

本实用新型克服了现有技术存在的不足,提供了一种结构简单,操作方便,测量准确,精度可靠,满足后续需求的可移动调节的晶体测距检验装置。

为了解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案为:一种可移动调节的晶体测距检验装置,包括底座,底座上设置有切割板,切割板上设置有可滑动的U型座,U型座上方设置有支撑板,支撑板与U型座相互垂直,支撑板上设置有旋转杆,旋转杆与底座相互平行,旋转杆一端与支撑板相连,另一端设置有测距控制杆,测距控制杆与旋转杆相互垂直,测距控制杆一端与旋转杆相连,另一端设置有测距表。

所述的支撑板在支撑板与旋转杆相连的位置设置有轴承座,所述的轴承座内设置有轴承,所述的轴承与轴承座之间通过卡簧固定,所述的旋转杆设置在轴承中。

所述的测距控制杆为方形杆,所述的旋转杆在旋转杆与测距控制杆相连处设置有方孔,所述的测距控制杆通过方孔与旋转杆固定相连。

所述的测距表为千分表或百分表。

所述的U型座一侧设置有固定螺钉。

所述的轴承座外圈上均布有4个刻度。

所述的测距控制杆上设置有刻度。

本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果:切割板上设置U型滑动座,通过滑动座在切割板上来回移动,可以方便的对不同厚度的晶体进行测量,确定不同的偏差,操作简单,使用方便,测量准确,测量效率高。

附图说明

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为图1的侧视图。

图中1为底座、2为切割板、3为U型座、4为支撑板、5为旋转杆、6为测距控制杆、7为测距表、8为晶体、9为轴承。

具体实施方式

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