[实用新型]棒式水浴加热循环槽有效
申请号: | 201920363040.0 | 申请日: | 2019-03-21 |
公开(公告)号: | CN209487473U | 公开(公告)日: | 2019-10-11 |
发明(设计)人: | 王静强;黄锡钦 | 申请(专利权)人: | 昆山基侑电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型为了解决现有的循环槽的密封性达不到完全隔绝化学药剂的效果,提供了一种包括不锈钢外槽体、石英内槽体、加热棒、不锈钢槽盖和液压缸的棒式水浴加热循环槽,石英内槽体安装于不锈钢外槽体内,并形成可承装水介质的腔室,加热棒置于腔室内;不锈钢外槽体顶部安装有转轴,不锈钢槽盖与转轴固连,液压缸的杆件通过曲柄与转轴固定;不锈钢外槽体的开口处安装有密封垫,液压缸带动不锈钢槽盖打开和关闭,实现了槽盖的一键开关功能,液压缸将槽盖紧压在密封垫上,能有效隔绝槽内化学药剂散出,保护操作人员安全。 | ||
搜索关键词: | 液压缸 不锈钢 不锈钢槽 外槽体 循环槽 转轴 石英内槽体 化学药剂 水浴加热 加热棒 密封垫 棒式 槽盖 本实用新型 顶部安装 人员安全 一键开关 开口处 密封性 杆件 固连 紧压 腔室 曲柄 外槽 装水 体内 室内 | ||
【主权项】:
1.棒式水浴加热循环槽,其特征在于,包括不锈钢外槽体、石英内槽体、加热棒、不锈钢槽盖和液压缸,所述石英内槽体安装于不锈钢外槽体内,并形成可承装水介质的腔室,所述加热棒置于所述腔室内;所述不锈钢外槽体顶部安装有转轴,所述不锈钢槽盖与所述转轴固连,所述液压缸的杆件通过曲柄与所述转轴固定,其缸体采用铰接方式固定于所述不锈钢槽体外部;所述不锈钢外槽体的开口处安装有密封垫,所述不锈钢槽盖盖合后紧压在所述密封垫上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造