[实用新型]棒式水浴加热循环槽有效
| 申请号： | 201920363040.0 | 申请日： | 2019-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN209487473U | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 王静强;黄锡钦 | 申请（专利权）人： | 昆山基侑电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 液压缸 不锈钢 不锈钢槽 外槽体 循环槽 转轴 石英内槽体 化学药剂 水浴加热 加热棒 密封垫 棒式 槽盖 本实用新型 顶部安装 人员安全 一键开关 开口处 密封性 杆件 固连 紧压 腔室 曲柄 外槽 装水 体内 室内 | ||
【权利要求书】：
1.棒式水浴加热循环槽，其特征在于，包括不锈钢外槽体、石英内槽体、加热棒、不锈钢槽盖和液压缸，所述石英内槽体安装于不锈钢外槽体内，并形成可承装水介质的腔室，所述加热棒置于所述腔室内；
所述不锈钢外槽体顶部安装有转轴，所述不锈钢槽盖与所述转轴固连，所述液压缸的杆件通过曲柄与所述转轴固定，其缸体采用铰接方式固定于所述不锈钢槽体外部；所述不锈钢外槽体的开口处安装有密封垫，所述不锈钢槽盖盖合后紧压在所述密封垫上。
2.根据权利要求1所述的棒式水浴加热循环槽，其特征在于，所述不锈钢外槽体的外部安装有罩在所述液压缸上的保护罩。
3.根据权利要求1所述的棒式水浴加热循环槽，其特征在于，所述液压缸采用纯水液压水缸。
4.根据权利要求3所述的棒式水浴加热循环槽，其特征在于，所述不锈钢槽盖和所述不锈钢外槽体共同安装有一组以上的近接式光电开关。
5.根据权利要求1所述的棒式水浴加热循环槽，其特征在于，所述加热棒为不锈钢材质的外丝式加热器。
6.根据权利要求1所述的棒式水浴加热循环槽，其特征在于，安装于所述石英内槽体内用于测温的元件采用PFA包覆式PT-100型热电偶。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
