[实用新型]一种半导体器件主体清洁装置有效
| 申请号： | 201920284803.2 | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN209680627U | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 赵俊男;王丽丽 | 申请（专利权）人： | 济南鲁晶半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;F26B21/00 |
| 代理公司： | 37218 济南泉城专利商标事务所 | 代理人： | 赵玉凤<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 250101 山东省济南市市辖区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种半导体器件主体清洁装置，包括底板、垂直设置于底板上的储液瓶支架和轨道护架，储液瓶支架上设置有储液瓶，轨道护架上开有在竖直方向延伸的竖直槽，轨道护架上还设有清洁装置和风干装置，清洁装置包括海绵支架、海绵粘板和海绵，海绵支架上设有滑动设置于竖直槽内的销轴，海绵通过海绵粘板粘接在海绵支架下端面，海绵支架上端面开有与海绵相通的导水槽，导水槽通过输液管与储液瓶的出口相连通，风干装置包括轴流风机以及将轴流风机连接在轨道护架上的风机支架。本清洁装置用于半导体元器件印字工序前对器件主体进行清洁，增加印字清晰度和印字牢度。 | ||
| 搜索关键词： | 海绵 海绵支架 清洁装置 储液瓶 护架 底板 轨道 风干装置 轴流风机 导水槽 竖直槽 印字 粘板 支架 半导体元器件 半导体器件 本实用新型 垂直设置 方向延伸 风机支架 滑动设置 器件主体 印字工序 上端面 输液管 下端面 牢度 竖直 销轴 粘接 相通 清洁 出口 | ||
【主权项】：
1.一种半导体器件主体清洁装置，其特征在于：包括底板、垂直设置于底板上的储液瓶支架和轨道护架，储液瓶支架上设置有储液瓶，轨道护架上开有在竖直方向延伸的竖直槽，轨道护架一侧设有清洁装置，另一侧设有风干装置，清洁装置包括海绵支架、海绵粘板和海绵，海绵支架上设有滑动设置于竖直槽内的销轴，海绵通过海绵粘板粘接在海绵支架下端面，海绵支架上端面开有与海绵相通的导水槽，导水槽通过输液管与储液瓶的出口相连通，风干装置包括轴流风机以及将轴流风机连接在轨道护架上的风机支架，储液瓶的高度大于清洁装置的高度，风干装置的高度大于清洁装置的高度。/n
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