[实用新型]压力传感器有效
| 申请号： | 201920279828.3 | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN210559358U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 李刚;刘迪;胡维;吕萍 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G01L1/22 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;董琳 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种压力传感器，该压力传感器包括：半导体衬底；位于所述半导体衬底内的悬空的第一真空腔，所述第一真空腔由若干间隔排列的第一槽经第一热处理合并而成；位于所述半导体衬底内的沟槽，所述沟槽穿过部分半导体衬底直至与所述第一真空腔连通，所述沟槽与第一真空腔围成感应本体。上述压力传感器的感压薄膜平整度高、厚度较薄，可以薄至1微米。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
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