[实用新型]激光检测系统有效
| 申请号： | 201920181798.2 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN209673647U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 潘从元;李朝阳;安宁;徐勇;查振春 | 申请（专利权）人： | 合肥金星机电科技发展有限公司;安徽创谱仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/73 | 分类号： | G01N21/73;G01N21/01 |
| 代理公司： | 34109 合肥诚兴知识产权代理有限公司 | 代理人： | 汤茂盛<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 230088 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种激光检测系统，包括激光源、二向色镜以及聚焦镜组，激光源与二向色镜之间设置有反射镜，二向色镜的镜面与其入射光呈夹角式布置，激光源发出的激光束依次经过反射镜、二向色镜、聚焦镜组聚焦至样品表面，烧蚀产生的等离子体信号经由聚焦镜组、二向色镜反射至分析单元。上述方案通过反射镜的设置，当激光源发出的激光束经过二向色镜后发生偏移时，只需要调整反射镜的反射角度就可以将二向色镜透射后的激光束校正回预定光路上，这样就不需要对二向色镜以及聚焦镜组进行调整，使得调节十分方便。 | ||
| 搜索关键词： | 二向色镜 聚焦镜组 反射镜 激光源 激光束 反射 等离子体信号 激光检测系统 本实用新型 夹角式布置 镜面 分析单元 样品表面 入射光 偏移 透射 烧蚀 校正 聚焦 | ||
【主权项】：
1.一种激光检测系统，其特征在于：包括激光源(10)、二向色镜(20)以及聚焦镜组(30)，激光源(10)与二向色镜(20)之间设置有反射镜(40)，二向色镜(20)的镜面与其入射光呈夹角式布置，激光源(10)发出的激光束依次经过反射镜(40)、二向色镜(20)、聚焦镜组(30)聚焦至样品A表面，烧蚀产生的等离子体信号经由聚焦镜组(30)、二向色镜(20)反射至分析单元。/n
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