[实用新型]激光检测系统有效
| 申请号: | 201920181798.2 | 申请日: | 2019-01-29 |
| 公开(公告)号: | CN209673647U | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
| 发明(设计)人: | 潘从元;李朝阳;安宁;徐勇;查振春 | 申请(专利权)人: | 合肥金星机电科技发展有限公司;安徽创谱仪器科技有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/73 | 分类号: | G01N21/73;G01N21/01 |
| 代理公司: | 34109 合肥诚兴知识产权代理有限公司 | 代理人: | 汤茂盛<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址: | 230088 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 二向色镜 聚焦镜组 反射镜 激光源 激光束 反射 等离子体信号 激光检测系统 本实用新型 夹角式布置 镜面 分析单元 样品表面 入射光 偏移 透射 烧蚀 校正 聚焦 | ||
本实用新型公开了一种激光检测系统,包括激光源、二向色镜以及聚焦镜组,激光源与二向色镜之间设置有反射镜,二向色镜的镜面与其入射光呈夹角式布置,激光源发出的激光束依次经过反射镜、二向色镜、聚焦镜组聚焦至样品表面,烧蚀产生的等离子体信号经由聚焦镜组、二向色镜反射至分析单元。上述方案通过反射镜的设置,当激光源发出的激光束经过二向色镜后发生偏移时,只需要调整反射镜的反射角度就可以将二向色镜透射后的激光束校正回预定光路上,这样就不需要对二向色镜以及聚焦镜组进行调整,使得调节十分方便。
技术领域
本实用新型涉及激光检测技术领域,具体涉及一种光路易调节的远程激光检测系统。
背景技术
在冶金行业,冶金熔体出炉时需要进行成分检测,以便判定当前产物是否合格,并确定是否与后续流程工艺吻合,指导相关物料配比设置。
目前熔体成分检测大多采用离线实验室化验方法,需要经过人工取样、送样到化验室、人工制样和化验分析等流程。整个过程不仅需要耗费大量时间,还需要耗费一定的人力,且检测的实时性差,无法为实时工艺控制提供指导。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种适用于熔体成分在线检测的激光检测系统,结构简单,调节方便。
为实现上述目的,本实用新型的技术方案是:一种激光检测系统,包括激光源、二向色镜以及聚焦镜组,激光源与二向色镜之间设置有反射镜,二向色镜的镜面与其入射光呈夹角式布置,激光源发出的激光束依次经过反射镜、二向色镜、聚焦镜组聚焦至熔体表面,烧蚀产生的等离子体信号经由聚焦镜组、二向色镜反射至分析单元。
采用上述技术方案的有益效果是:通过反射镜的设置,当激光源发出的激光束经过二向色镜后发生偏移时,只需要调整反射镜的反射角度就可以将二向色镜透射后的激光束校正回预定光路上,这样就不需要对二向色镜以及聚焦镜组进行调整,使得调节十分方便。
附图说明
图1是本实用新型的系统示意图。
具体实施方式
结合附图,一种激光检测系统,包括激光源10、二向色镜20以及聚焦镜组30,激光源10与二向色镜20之间设置有反射镜40,二向色镜20的镜面与其入射光呈夹角式布置,激光源10发出的激光束依次经过反射镜40、二向色镜20、聚焦镜组30聚焦至样品A表面,烧蚀产生的等离子体信号经由聚焦镜组30、二向色镜20反射至分析单元。本实用新型的核心是通过反射镜的设置,当激光源发出的激光束经过二向色镜后发生偏移时,只需要调整反射镜的反射角度就可以将二向色镜透射后的激光束校正回预定光路上,这样就不需要对二向色镜以及聚焦镜组进行调整,使得调节十分方便。
优选的,所述反射镜40包括第一反射镜41和第二反射镜42,第一反射镜41和第二反射镜42的镜面垂直布置,激光束依次经第一反射镜41和第二反射镜42反射至二向色镜20上。通过将第一反射镜41和第二反射镜42镜面垂直布置,不仅能够对激光源10发出的激光束进行换向,还能保证激光源10发出的激光束与照射到二向色镜20上的激光束反向平行,这样就可以将激光源10布置在二向色镜20以及聚焦镜组30的旁侧,充分利用了二向色镜20以及聚焦镜组30的旁侧空间,避免系统过于冗长,使得各元器件的布置更加紧凑。
进一步的,聚焦镜组30包括沿激光束照射方向顺序布置的凹面反射镜31和凸面反射镜32,凹面反射镜31的中部开设有的中心孔311,凹面反射镜31的反射凹面312与凸面反射镜32的反射凸面321相对布置,激光束穿过中心孔311经凸面反射镜32的反射凸面321、凹面反射镜31的反射凹面312聚焦至样品A表面。具体的,利用凸面反射镜32让激光束折返再通过凹面反射镜31来聚焦,在保证聚焦效果的同时使得整体结构更加紧凑、合理。
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