[实用新型]一种精密双面研磨机横梁调平装置有效
申请号: | 201920110825.7 | 申请日: | 2019-01-23 |
公开(公告)号: | CN209533077U | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 朱亮;曹建伟;卢嘉彬;邹晶刚;严浩;周锋;刘文涛;傅林坚 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | B24B41/02 | 分类号: | B24B41/02;B24B37/08 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及单晶硅片双面研磨抛光技术领域,特别涉及一种精密双面研磨机横梁调平装置。包括上横梁;上横梁一端与旋转立柱的活动端外圈相连,另一端与下方的固定架相连;活动端外圈内设有活动端内圈。上横梁端部设有螺钉与调节栓,用于调节上横梁的水平并用于连接固定架。本实用新型通过四个调节栓分别修配,长度差异,调节上横梁可能由于焊接变形、疲劳变形等因素而导致的上横梁水平度不好的现象。可以将由于整个上盘自重产生的重力,对固定螺钉产生的剪切力,转移到调节栓上,通过对调节栓的长度调节,保证上横梁的水平度,结构简单,实用性强。 | ||
搜索关键词: | 上横梁 活动端 本实用新型 双面研磨机 调平装置 水平度 横梁 精密 双面研磨抛光 连接固定架 长度差异 长度调节 单晶硅片 固定螺钉 焊接变形 旋转立柱 螺钉 固定架 剪切力 内圈 上盘 变形 疲劳 保证 | ||
【主权项】:
1.一种精密双面研磨机横梁调平装置,包括上横梁;其特征在于,所述上横梁一端与旋转立柱的活动端外圈相连,另一端与下方的固定架相连;活动端外圈内设有活动端内圈;所述上横梁端部设有第一螺钉与调节栓,固定架顶端设有第二螺钉,用于调节上横梁的水平并连接固定架。
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