[实用新型]一种精密双面研磨机横梁调平装置

说明书

本实用新型涉及单晶硅片双面研磨抛光技术领域，特别涉及一种精密双面研磨机横梁调平装置。包括上横梁；上横梁一端与旋转立柱的活动端外圈相连，另一端与下方的固定架相连；活动端外圈内设有活动端内圈。上横梁端部设有螺钉与调节栓，用于调节上横梁的水平并用于连接固定架。本实用新型通过四个调节栓分别修配，长度差异，调节上横梁可能由于焊接变形、疲劳变形等因素而导致的上横梁水平度不好的现象。可以将由于整个上盘自重产生的重力，对固定螺钉产生的剪切力，转移到调节栓上，通过对调节栓的长度调节，保证上横梁的水平度，结构简单，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片双面研磨抛光技术领域，特别涉及一种精密双面研磨机横梁调平装置。

背景技术

单晶硅是制造半导体硅器件的原料，用于制大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等。用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造，其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域，在军事电子设备中也占有重要地位。

作为单晶硅片的加工技术中的一项双面研磨技术，是成品单晶硅片量产的必不可少的加工工艺，精密双面研磨机起到了关键的作用。市面上较为普遍的双面研磨机主要有固定横梁式与旋转横梁式两种，由于其维护方便的优势，旋转横梁式双面研磨机广受工厂青睐，但对于这种旋转横梁式精密双面研磨机，如何保证长时间使用、维护过后，悬臂横梁仍内保持原有的水平度和精度，却成为了一个技术难题，因此设计一种既能方便换盘维护，又能保证其原有的水平度和精度成为了一个亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种精密双面研磨机横梁调平装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的解决方案是：

提供一种精密双面研磨机横梁调平装置，包括上横梁；上横梁一端与旋转立柱的活动端外圈相连，另一端与下方的固定架相连；活动端外圈内设有活动端内圈。

上横梁端部设有螺钉与调节栓，用于调节上横梁的水平并用于连接固定架。

作为一种改进，活动端外圈与活动端内圈间设有轴承。

作为一种改进，上横梁与活动端外圈通过螺钉相连。

作为一种改进，调节栓有四个。

与现有技术相比，本实用新型的技术效果是：

1、通过四个调节栓分别修配，长度差异，调节上横梁可能由于焊接变形、疲劳变形等因素而导致的上横梁水平度不好的现象。

2、可以将由于整个上盘自重产生的重力，对固定螺钉产生的剪切力，转移到调节栓上，通过对调节栓的长度调节，保证上横梁的水平度，结构简单，实用性强。

附图说明

图1为实用新型的总体结构示意图；

图2为调节栓调平结构示意图；

图3为旋转端结构示意图。

图中：1-上横梁；2-轴承；3-活动端外圈；4-活动端内圈；5-第一螺钉；6-调节栓；7-固定架；8-第二螺钉。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行详细描述。

如图1-2所示，一种精密双面研磨机横梁调平装置，包括上横梁1；上横梁1水平设置，一端通过螺钉与旋转立柱的活动端外圈3相连，另一端与固定架7相连；活动端外圈3内设有活动端内圈4。上横梁1端部设有第一螺钉5与四个调节栓6，固定加7顶部设有第二螺钉8，一同用于调节上横梁1的水平并连接固定架7。活动端外圈3与活动端内圈4间设有轴承。