[实用新型]一种原子层沉积设备用金属盒及原子层沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种原子层沉积设备用金属盒，涉及原子层沉积技术领域；包括多个通气管，所述通气管相邻两根设置有横杆，所述通气管内侧阵列设置有多个通气孔，所述通气管底部设置有进气口，所述通气管为中空结构。本实用新型除了承载晶圆的功能外，还包括气体流出供给，合二为一，气路设计更简单，实用可靠；减少了原子层沉积设备气管的数量，同时保证了充气的效果，气路的各自分开，完全杜绝了不相容气体的互相污染。

主权项

1.一种原子层沉积设备用金属盒，包括多根通气管（1），所述通气管（1）相邻两根设置有横杆（2），其特征在于，所述通气管（1）内侧阵列设置有多个通气孔（3），所述通气管（1）底部设置有进气口（5），所述通气管（1）为中空结构。