[实用新型]一种一体式的托盘定位治具有效
申请号: | 201920047848.8 | 申请日: | 2019-01-11 |
公开(公告)号: | CN209150072U | 公开(公告)日: | 2019-07-23 |
发明(设计)人: | 徐中邦;钱军 | 申请(专利权)人: | 爱发科真空技术(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人: | 刘宪池 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种一体式的托盘定位治具,包括:固定安装在载盘盒底座上的治具固定台,用于校正托盘在载盘盒上位置的定位治具,以及用于将定位治具可转动的设置在治具固定台上的转轴;治具固定台上开有方形槽,转轴设置在方形槽上;定位治具包括与治具座和固定在治具座上的定位杆;治具座上开有供转轴穿过的条形孔;条形孔上靠近定位杆的端部为A端,条形孔上远离定位杆的端部为B端;当条形孔的A端卡设在转轴上时,定位治具垂直于治具固定台,定位杆上端卡在凹口处校正托盘的位置;当条形孔的B端卡设在转轴上时,定位治具可绕转轴转动。通过上述方式,本实用新型能够简单化定位操作,并可以消除人为操作的误差,使托盘的位置精度高。 | ||
搜索关键词: | 定位治具 托盘 条形孔 转轴 定位杆 治具 治具座 本实用新型 固定台 端卡 载盘 校正 定位操作 转轴转动 方形槽 盒底座 可转动 上端卡 上位置 凹口 垂直 穿过 | ||
【主权项】:
1.一种一体式的托盘定位治具,其特征在于,包括:固定安装在载盘盒底座上的治具固定台,用于校正托盘在载盘盒上位置的定位治具,以及用于将所述定位治具可转动的设置在所述治具固定台上的转轴;所述治具固定台的一端与所述载盘盒底座固定连接,所述治具固定台的另一端开有与所述定位治具相匹配的方形槽,所述方形槽所在的位置与载盘盒上托盘的凹口相对应;所述转轴水平横向设置在所述方形槽内,所述转轴垂直于所述方形槽的两侧壁;所述定位治具包括与所述方形槽相配匹的治具座和固定在所述治具座上用于与所述凹口相匹配的定位杆,所述定位杆的长度方向与所述治具座的长度方向相同;所述治具座设置在所述方形槽内,所述治具座上开有沿其长度方向设置并用于供所述转轴穿过的条形孔;所述条形孔上靠近所述定位杆的端部定为A端,所述条形孔上远离所述定位杆的端部定为B端;当条形孔的A端卡设在所述转轴上时,所述治具座上远离所述定位杆的端部到所述转轴的距离大于所述方形槽槽底到所述转轴的距离,所述定位治具垂直于所述治具固定台,所述定位杆上端卡在所述凹口处以校正所述托盘的位置;当条形孔的B端卡设在所述转轴上时,所述治具座上远离所述定位杆的端部到所述转轴的距离不大于所述方形槽槽底到所述转轴的距离,所述定位治具可绕所述转轴转动使定位杆水平方向低于所述托盘以便进行托盘的装卸。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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