[实用新型]一种一体式的托盘定位治具

说明书

本实用新型公开了一种一体式的托盘定位治具，包括：固定安装在载盘盒底座上的治具固定台，用于校正托盘在载盘盒上位置的定位治具，以及用于将定位治具可转动的设置在治具固定台上的转轴；治具固定台上开有方形槽，转轴设置在方形槽上；定位治具包括与治具座和固定在治具座上的定位杆；治具座上开有供转轴穿过的条形孔；条形孔上靠近定位杆的端部为A端，条形孔上远离定位杆的端部为B端；当条形孔的A端卡设在转轴上时，定位治具垂直于治具固定台，定位杆上端卡在凹口处校正托盘的位置；当条形孔的B端卡设在转轴上时，定位治具可绕转轴转动。通过上述方式，本实用新型能够简单化定位操作，并可以消除人为操作的误差，使托盘的位置精度高。

技术领域

本实用新型涉及托盘定位技术领域，特别是涉及一种一体式的托盘定位治具。

背景技术

在搭载分体式静电吸附电极的高真空刻蚀设备中，静电电极式托盘7(下称托盘7)需要装载待刻蚀基板从载片腔体传送至工艺腔体，工艺腔体内电极座的静电导入顶针需要与托盘7的金属触点精确定位。所以，托盘7在载片腔体内的位置需要被精确设定。

现有的托盘7采用分体式定位治具8校正其位于载片腔体内的位置，载片腔体包括用于放置托盘7的载盘盒9、位于载盘盒9底部用于固定支撑载盘盒9底部的载盘盒底座5、以及固定设置在载盘盒底座5上用于限制分体式定位治具8的治具限位座10，托盘7上具有用于卡设定位的凹口。当托盘7放入载盘盒9内时，将分体式定位治具8放置在载盘盒底座5内并由治具限位座10限制，此时，分体式定位治具8的上端部可卡设在托盘7的凹口处，分体式定位治具8便可以对放置在载盘盒9内的托盘7进行位置调整，位置调整完毕后再将分体式定位治具8取出。但是该定位校正的方式不仅操作繁复，还时常有位置校正操作漏执行及治具遗漏丢失的现象；另外，虽然载盘盒底座5上设置有治具限位座10，但由于是人为操作将分体式定位治具8摆放至载盘盒底座5上，所以分体式定位治具8的摆放精度依然因人而异，从而会直接影响托盘7搬送位置的精度，容易出现搬送错位、托盘7静电导入金属触点与托盘座顶针不匹配等现象。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种一体式的托盘定位治具，能够简单化定位操作，并可以消除人为操作的误差，使托盘的位置精度高。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种一体式的托盘定位治具，包括：固定安装在载盘盒底座上的治具固定台，用于校正托盘在载盘盒上位置的定位治具，以及用于将所述定位治具可转动的设置在所述治具固定台上的转轴；所述治具固定台的一端与所述载盘盒底座固定连接，所述治具固定台的另一端开有与所述定位治具相匹配的方形槽，所述方形槽所在的位置与载盘盒上托盘的凹口相对应；所述转轴水平横向设置在所述方形槽内，所述转轴垂直于所述方形槽的两侧壁；所述定位治具包括与所述方形槽相配匹的治具座和固定在所述治具座上用于与所述凹口相匹配的定位杆，所述定位杆的长度方向与所述治具座的长度方向相同；所述治具座设置在所述方形槽内，所述治具座上开有沿其长度方向设置并用于供所述转轴穿过的条形孔；所述条形孔上靠近所述定位杆的端部定为A端，所述条形孔上远离所述定位杆的端部定为B端；当条形孔的A端卡设在所述转轴上时，所述治具座上远离所述定位杆的端部到所述转轴的距离大于所述方形槽槽底到所述转轴的距离，所述定位治具垂直于所述治具固定台，所述定位杆上端卡在所述凹口处以校正所述托盘的位置；当条形孔的B端卡设在所述转轴上时，所述治具座上远离所述定位杆的端部到所述转轴的距离不大于所述方形槽槽底到所述转轴的距离，所述定位治具可绕所述转轴转动使定位杆水平方向低于所述托盘以便进行托盘的装卸。

优选的，所述定位治具绕所述转轴转动的两个极限状态分别为垂直于所述治具固定台、以及平行于所述治具固定台。

优选的，所述转轴的两端分别垂直穿过所述方形槽的两侧壁并伸出所述治具固定台，所述转轴的两伸出端上分别卡设有用于限制转轴在治具固定台上位置的卡簧。

优选的，所述治具座上远离所述定位杆的端部与治具座上靠近所述方形槽槽底的侧壁之间通过圆弧面过渡连接。