[实用新型]一种防卡死真空镀膜转架有效
| 申请号： | 201920010809.0 | 申请日： | 2019-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN210085569U | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 杜晓颖;杜国才;冯伟;吴海平 | 申请（专利权）人： | 深圳市长兴荣五金制品有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 中山市兴华粤专利代理有限公司 44345 | 代理人： | 林少波 |
| 地址： | 518115 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于真空镀膜辅助设备技术领域，具体涉及一种具有防卡死功能的真空镀膜转架。所述防卡死真空镀膜转架包括转盘组件、公转主杆、自转挂杆；所述转盘组件包括底盘、公转盘、公转齿轮、自转齿轮、转动主轴。所述转盘组件还设有平面滚珠轴承，所述平面滚珠轴承固定设置于所述底盘上方且滚动支承在所述公转齿轮下表面内圈。本实用新型所提供的防卡死真空镀膜转架，通过设置平面滚珠轴承对公转齿轮进行水平支撑，保持转架的垂直角度稳定，避免了倾斜导致的卡死，从而提升了生产效率；并且由于稳定了公转齿轮的角度，也提升了工件镀膜时的均匀性，提升了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防卡死 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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