[实用新型]一种防卡死真空镀膜转架

说明书

本实用新型属于真空镀膜辅助设备技术领域，具体涉及一种具有防卡死功能的真空镀膜转架。所述防卡死真空镀膜转架包括转盘组件、公转主杆、自转挂杆；所述转盘组件包括底盘、公转盘、公转齿轮、自转齿轮、转动主轴。所述转盘组件还设有平面滚珠轴承，所述平面滚珠轴承固定设置于所述底盘上方且滚动支承在所述公转齿轮下表面内圈。本实用新型所提供的防卡死真空镀膜转架，通过设置平面滚珠轴承对公转齿轮进行水平支撑，保持转架的垂直角度稳定，避免了倾斜导致的卡死，从而提升了生产效率；并且由于稳定了公转齿轮的角度，也提升了工件镀膜时的均匀性，提升了产品良率。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜辅助设备技术领域，具体涉及一种具有防卡死功能的真空镀膜转架。

背景技术

真空镀膜中需要将镀膜工件通过挂架悬挂在镀膜真空腔中进行真空镀膜，并且为了使工件各个面镀膜均匀，目前都采用可转动的转架来悬挂工件。

工件在真空镀膜时，需要转动均匀以保证镀膜均匀，但在使用过程中，转架往往会出现卡死，无法正常转动，导致镀膜不均匀，造成产品损失。

目前，针对卡死现象，行业内提出过采用陶瓷滚珠轴承、加装遮蔽板等方案，但存在维持寿命短、结构复杂难以维护、效果不稳定等问题，影响镀膜工件的产量及良率。

因此，为了解决真空镀膜转架卡死的问题，提高产量及良率，需要开发一种防卡死真空镀膜转架。

实用新型内容

基于上述现有技术的缺陷与不足，本实用新型的目的在于提供一种防卡死真空镀膜转架。

本实用新型的目的通过下述技术方案实现：

一种防卡死真空镀膜转架，设置于真空镀膜设备内部并与驱动机构传动连接，所述防卡死真空镀膜转架包括转盘组件、公转主杆、自转挂杆；所述转盘组件包括底盘、公转盘、公转齿轮、自转齿轮、转动主轴；所述底盘固定于真空镀膜设备的底板上，所述转动主轴转动安装在所述底盘上，所述公转盘固定在所述公转齿轮上，所述公转盘位于所述底盘上方且与所述底盘平行，所述公转齿轮与所述转动主轴固定连接，所述公转盘、公转齿轮及转动主轴为同轴结构，所述公转盘上设有若干自转支座，所述自转齿轮与所述公转齿轮啮合，所述自转齿轮与所述自转支座下端转动连接，所述转动主轴下方设有与驱动机构连接的传动齿轮，所述公转主杆插接于所述转动主轴上部，所述自转挂杆插接于所述自转支座；所述转盘组件还设有平面滚珠轴承，所述平面滚珠轴承固定设置于所述底盘上方且滚动支承在所述公转齿轮下表面内圈。

具体的，所述平面滚珠轴承内部装设有若干硬质滚珠，且每隔3～5个硬质滚珠设有一滚珠隔离块。

具体的，所述滚珠隔离块为硬质滚珠隔离块。

具体的，所述滚珠隔离块为两端呈弧形的条形块。

更具体的，所述滚珠隔离块为圆角立方体、椭圆体。

本实用新型相对于现有技术具有的优点及效果：

(1)经研究发现，常规的真空镀膜转架之所以会发生转动过程中卡死现象，主要是由于转架在挂载工件后重量较大，且难以保持挂架承重均匀，在使用过程中会使挂架产生一定的倾斜，从而导致齿轮受力不均，驱动机构容易出现过载停机，产生转架卡死现象。本技术方案所提供的防卡死真空镀膜转架，通过在公转齿轮与底盘之间设置平面滚珠轴承进行支承，可提供对公转齿轮盘的水平支撑，保持转架的垂直角度稳定，避免了倾斜导致的卡死，从而提升了生产效率；并且由于稳定了公转齿轮的角度，也提升了工件镀膜时的均匀性，提升了产品良率。