[发明专利]一种薄膜压电声波谐振器及其制造方法及滤波器在审
| 申请号： | 201911422717.4 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN113131896A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 黄河;罗海龙;李伟;齐飞 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜压电声波谐振器及其制造方法及滤波器，其中薄膜压电声波谐振器包括：第一基板；设置于所述第一基板第一表面，从上至下依次叠层的第一电极、压电片体和第二电极；所述第一电极、压电片体和第二电极在垂直于所述压电片体表面的方向上设有重叠的区域；在所述重叠的区域内，所述压电片体与所述第一电极之间设有间隙；隔离空腔，环绕于所述压电片体的外周；所述间隙与所述隔离空腔相连通。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 压电 声波 谐振器 及其 制造 方法 滤波器 | ||
【主权项】：
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