[发明专利]用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构在审
| 申请号： | 201911421944.5 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN110944276A | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 林育菁;宫岛博志 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 柳岩 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构，所述用于MEMS器件的防尘结构包括网格膜及载体，所述网格膜具有固定连接区和透声区，所述固定连接区环绕在所述透声区周围，所述固定连接区位于所述网格膜的边缘；所述载体具有贯通的开口，所述开口与所述透声区的位置相对应，所述载体包括至少两层载体层，所述载体层中的第一载体层连接在所述固定连接区的一侧，其它各层所述载体层沿所述网格膜的厚度方向依次层叠分布于所述第一载体层的远离于所述网隔膜的一侧，各层所述载体层的热膨胀系数不同。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mems 器件 防尘 结构 麦克风 封装 | ||
【主权项】：
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