[发明专利]一种晶圆清洗装置及清洗方法有效
| 申请号： | 201911412923.7 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN113118100B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 李长坤;赵德文;刘远航;曹自立 | 申请（专利权）人： | 清华大学;华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/12;B08B1/04;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种晶圆清洗装置，包括清洗腔、清洗部、喷淋单元和清洁单元；所述清洗腔用于接收需要清洗的晶圆；所述清洗部可转动地安装于所述清洗腔内，用于擦洗晶圆表面；所述喷淋单元设置于所述清洗部上方，并在所述清洗部擦洗晶圆的过程中向晶圆表面喷洒清洗液；所述清洁单元设置于所述清洗腔中，并在晶圆清洗结束后通过喷射清洁液对所述清洗部进行清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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