[发明专利]电化学抛光液回收装置与方法在审
| 申请号： | 201911410727.6 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN113122905A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 吴雷;李凯强;金一诺;吴均;王坚;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | C25F7/02 | 分类号： | C25F7/02;C25F3/22 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电化学抛光液回收装置与方法，该装置包括：上方设有开口的电解槽，用于容纳抛光液；包括电极板的极板组件；电极板包括阴极板和阳极板，分别连接直流电源；电极板在电解时浸入抛光液并沉积固态物质；包括刮刀的刮刀组件，用于刮除固态物质；用于驱动刮刀与电极板相对移动的驱动组件，使刮刀从电极板刮除固态物质；包括网兜的过滤组件，网兜对电极板进行包围隔离，用于过滤固态物质。本发明通过引入驱动、刮刀和过滤等组件，使析出金属在完成电解过程后，在从电解槽中取出时自动被刮所刮除并收集于网兜中。本发明避免了析出金属对抛光液的二次污染，解决了析出金属的快捷回收问题，提升了作业效率。 | ||
| 搜索关键词： | 电化学 抛光 回收 装置 方法 | ||
【主权项】：
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